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[發明專利]一種氧化鋯電子承燒板的制備方法在審

專利信息
申請號: 201710376700.4 申請日: 2017-05-25
公開(公告)號: CN107056288A 公開(公告)日: 2017-08-18
發明(設計)人: 包曉剛;張高平;葉海龍;胡天喜;初薛基 申請(專利權)人: 三祥新材股份有限公司
主分類號: C04B35/482 分類號: C04B35/482
代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙)35214 代理人: 林志崢
地址: 355500 福建*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 氧化鋯 電子 承燒板 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

氧化釔穩定型氧化鋯在電弧爐內完成熔煉得到釔穩定鋯粉體,所述釔穩定鋯粉體中氧化釔質量百分含量為6%~8%;

將所述釔穩定鋯粉體分別研磨至如下粒度和占比:40-80目粉體質量占比15%~25%,80-120目粉體質量比占比10%~25%,120~200目粉體質量比占比20%~30%,325-1000目粉體質量比占比25%~40%,1000目粉體質量比占比<10%,得釔穩定鋯粉體組合;

將上述釔穩定鋯粉體組合中,粒度120目以下粉體置于2%~5%溶質質量分數的稀酸中進行浸泡0.5~6h,然后用清水洗滌,在100~200℃下烘干1~5h得烘干粉體,所述烘干粉體中水分含量質量百分數<0.1%;

加入烘干粉體的質量百分數為0.5%~0.8%的氧化鎂、0.25~0.75%的氧化鈰至烘干粉體中,混合均勻,得混合粉體;

將混合粉體與釔穩定鋯粉體組合中40-120目粗料混合得混合料,加入占混合料質量百分數4%~7%的粘結劑進行粘結混料,混勻后置于輥壓機進行加密造粒;

將加密造粒后得到的粉體壓制燒結成氧化鋯電子承燒板。

2.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述稀酸選自稀鹽酸、稀硫酸和稀草酸中的一種或幾種。

3.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述氧化鋯的純度≥99%,氧化釔純度≥99.8%,氧化鎂純度≥99.9%,氧化鈰純度≥99.9%。

4.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述粘結劑為聚烯醇類或有機樹脂類。

5.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述粘結劑為聚乙烯醇或酚醛樹脂。

6.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述“輥壓機進行加密造?!敝屑用茉炝5拇螖禐?次。

7.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述“將加密造粒后得到的粉體壓制,燒結成氧化鋯電子承燒板”具體為:將加密造粒后得到的粉體于180~260MPa下壓制燒結成氧化鋯電子承燒板。

8.根據權利要求1所述的氧化鋯電子承燒板的制備方法,其特征在于:所述燒結的溫度曲線為:0~650℃:240min,650~650℃:90min,650~1450℃:300min,1450~1450℃:60min,1450~1660℃:90min,1660~1660℃:200min,制品隨爐冷卻至常溫出爐。

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