[發明專利]一種新型的離子源引出-加速結構

有效

• 申請號: 201710368331.4
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN107248490B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 廖斌;歐陽曉平;張旭;張豐收;吳先映;羅軍;龐盼
• 申請（專利權）人: 北京師范大學
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/147;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的金屬離子源引出-加速結構，其特征在于：

包括一個引出電極和一個加速電極，其中引出電極為長條形孔；

對加速電極進行表面結構設計，結構為凹弧形且截面為長條梯形孔；

束斑為長條形狀，長條梯形孔的長邊垂直方向上發散，長邊平行方向上收斂；

實際工作引出電壓為定值低壓8kv，同等束流條件下陰極壽命提高2倍以上；

引出束斑尺寸最長可為800mm。

2.根據權利要求書1所述的一種新型的金屬離子源引出-加速結構，其特征包括：引出電極孔為長條形，相鄰兩長條形引出電極孔間距為1.2-2.0mm，長條形引出電極孔尺寸為(1.5-2.5mm)×(80-100mm)。

3.根據權利要求書1所述的一種新型的金屬離子源引出-加速結構，其特征包括：加速電極孔為長條形，相鄰兩長條形加速電極孔間距為1.2-2.0mm，加速電極表面為凹弧形形狀，弧形的半徑為9-12m。

4.根據權利要求書3所述的一種新型的金屬離子源引出-加速結構，引出電極與加速電極之間的間距為以機械尺寸為中心，沿半徑方向連續減小，引出電極和加速電極之間的間距為3-7mm。

5.根據權利要求書3所述的一種新型的金屬離子源引出-加速結構，加速電極的長條形孔的截面不是規則矩形，而是梯形形狀，靠近引出電極端面一側的梯形上邊面尺寸為(1.5-2.5mm)×(80-100mm)，梯形下邊面尺寸為(2-3mm)×(80-100mm)。

6.一種新型的金屬離子源，其特征在于，設置有采用權利要求1至5任一項所述的金屬離子源引出-加速結構。