[發明專利]一種基于點擴散函數測量的物鏡檢測裝置

在審

• 申請號: 201710347515.2
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN106996862A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 唐玉國;魏通達;張運海
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙)44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種基于點擴散函數測量的物鏡檢測裝置，其特征在于，包括激光器、可變單色濾光片轉輪、擴束鏡、分光鏡、物鏡、三維納米位移臺、透鏡、探測器及計算機，所述激光器可出射寬波段白激光、所述可變單色濾光片轉輪可選擇地透射不同波長的單色光，所述三維納米位移臺上固定有金納米粒子，所述三維納米位移臺及所述探測器分別電性連接于所述計算機，所述計算機可控制所述三維納米位移臺移動，其中：

所述激光器出射的寬波段白激光經所述可變單色濾光片轉輪后形成包括若干波長的單色激光束，所述單色激光束經所述擴束鏡準直后再通過所述分光鏡入射進入所述物鏡，所述單色激光束經所述物鏡聚焦后在其焦點處形成三維分布的光斑，所述三維分布的光斑呈PSF分布；

位于所述物鏡焦點處的金納米粒子經所述光斑照射后產生散射的激光信號，所述激光信號再依次經所述物鏡及所述分光鏡后入射進入所述透鏡，所述透鏡匯聚所述激光信號并經所述探測器探測形成的探測信號記錄于所述計算機中；

所述計算機控制納米位移臺移動，并帶動所述金納米粒子在所述PSF所在的空間區域內移動，實現所述金納米粒子在PSF分布區域的三維掃描，并建立所述探測信號與所述金納米粒子的三維位置信息的對應關系，實現PSF的三維測量。

2.根據權利要求1所述的基于點擴散函數測量的物鏡檢測裝置，其特征在于，所述激光器為寬波段超連續譜激光器。

3.根據權利要求1所述的基于點擴散函數測量的物鏡檢測裝置，其特征在于，依次經所述擴束鏡、所述分光鏡后入射進入所述物鏡的單色激光束的光斑直徑大于所述物鏡的光瞳直徑。

4.根據權利要求1所述的基于點擴散函數測量的物鏡檢測裝置，其特征在于，所述三維納米位移臺為納米壓電位移臺。