[發明專利]一種用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法

在審

• 申請號: 201710344657.3
• 申請日: 2017-05-16
• 公開（公告）號: CN107102174A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 高思田;徐靖濤;黃鷺;施玉書;李琪
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01Q70/16
• 分類號: G01Q70/16
• 代理公司: 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙)11316
• 代理人: 滑春生,趙永偉

1.一種用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，適用于可控制備具有特殊幾何形貌的特種探針及針尖控制技術，包括：提供一基底；

在所述基底上安裝一電解槽固定裝置；在所述基底上安裝一針尖定位系統；

在所述的針尖定位系統中實施探針制作與控制。

2.如權利要求1所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述制作方法為通過電化學反應使金屬絲一端形成尖銳的針尖；阻止已形成的針尖繼續被腐蝕；使金屬絲其他部分形成特殊幾何形貌的輪廓。

3.如權利要求1所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述基底包括底座、支撐立柱和手柄；所述電解槽固定裝置包括U型管、U型管固定板和二維位移臺。

4.如權利要求1所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述針尖定位系統為可控步進式直線位移電機、電機固定支架、抗震支撐架、線性位移導軌、過渡支撐板、可控精密位移壓電促動器、單軸圓弧型柔性鉸鏈和高剛度水平板的聯用機構。

5.如權利要求3所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述U型管內上層裝有電解質溶液；所述U型管內下層裝有具有穩定液-液界面的有機溶劑層。

6.如權利要求4所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述可控步進式直線位移電機和可控精密位移壓電促動器共同控制金屬絲的位移。

7.如權利要求4所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述針尖定位系統與控制裝置相連；控制裝置包括人機交互控制器、數據采集板卡、驅動板卡、驅動器、電子開關和精密可調取樣電阻；

所述電子開關由上升沿觸發器和場效應晶體管組成；上升沿觸發器的觸發端與數據采集板卡連接，上升沿觸發器的輸出端與場效應晶體管的柵極連接，該場效應晶體管與金屬絲相連。

8.如權利要求1所述的用于針尖型掃描顯微測量裝置的特種探針的制作方法，其特征在于，所述特種探針的適用范圍，包括但不限于掃描探針顯微鏡、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡及其它基于針尖掃描拓展型的超分辨成像系統、近場成像與光譜系統、共焦光學顯微機構、微機電集成測量與傳感等。