[發明專利]微機電光學相位調制器

在審

• 申請號: 201710324529.2
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN108873313A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 吳亞明;徐靜
• 申請（專利權）人: 上海新微技術研發中心有限公司
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種微機電光學相位調制器，其特征在于，包括透光平板、外圍支架、扭轉機構、以及扭轉驅動器，其中：

所述透光平板的上表面與下表面分別鍍制光學增透膜；

所述透光平板通過扭轉機構與所述外圍支架連接；

所述扭轉驅動器用以驅動所述透光平板發生扭轉。

2.根據權利要求1所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述透光平板的材質為單晶硅、玻璃、光學塑料、光學晶體或光學陶瓷。

3.根據權利要求1所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述扭轉驅動器為靜電垂直梳齒扭轉驅動器、電磁扭轉驅動器、壓電扭轉驅動器或電熱扭轉驅動器。

4.根據權利要求1所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述扭轉機構包括共軸設置的第一扭轉梁和第二扭轉梁；所述第一扭轉梁的一端連接所述外圍支架，另一端連接所述透光平板；所述第二扭轉梁的一端連接所述外圍支架，另一端連接所述透光平板；所述透光平板能夠以所述第一扭轉梁和第二扭轉梁的軸向為轉軸發生扭轉。

5.根據權利要求4所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述扭轉驅動器為靜電垂直梳齒扭轉驅動器，所述靜電垂直梳齒扭轉驅動器包括設置在轉軸同側的第一靜梳齒組以及第一動梳齒組；其中：

所述第一動梳齒組與所述透光平板連接；

所述第一靜梳齒組與所述外圍支架連接；

所述第一動梳齒組與所述第一靜梳齒組之間具有一預設的高度差，所述高度差使所述第一靜梳齒組與所述第一動梳齒組能夠在施加電壓的情況下發生相對位移，并進一步驅動所述透光平板沿著所述轉軸發生扭轉。

6.根據權利要求5所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述扭轉驅動器還包括與第一靜梳齒組以及第一動梳齒組相對于轉軸對稱分布的第二靜梳齒組以及第二動梳齒組；在施加電壓的情況下，所述第二靜梳齒組以及第二動梳齒組發生相對位移，產生的扭轉運動與第一靜梳齒組、第一動梳齒組施加電壓產生的扭轉運動方向相反。

7.根據權利要求4所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述扭轉驅動器為電磁扭轉驅動器，所述電磁扭轉驅動器包括一組金屬線圈，所述金屬線圈設置在透光平板表面，所述金屬線圈通過轉軸連接到設置在外圍支架的電極焊盤上，流過所述金屬線圈的驅動電流在外部偏置磁場的作用下產生電磁扭轉力，驅動所述透光平板沿著所述轉軸發生扭轉。

8.根據權利要求7所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述金屬線圈為銅線圈、鋁線圈或金線圈。

9.根據權利要求7所述的微機電光學相位調制器，其特征在于，所述金屬線圈通過一支撐框架制造在所述透光平板表面。