[發(fā)明專利]一種在透射電子顯微鏡下獲取環(huán)形暗場圖像的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710312330.8 | 申請日： | 2017-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN107271461B | 公開（公告）日： | 2019-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 閆志剛;鄭春雷;林耀軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 燕山大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/04 | 分類號： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 秦皇島一誠知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 13116 | 代理人： | 續(xù)京沙 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 透射 電子顯微鏡 獲取 環(huán)形 暗場 圖像 方法 | ||
1.一種在透射電子顯微鏡下獲取環(huán)形暗場圖像的方法，其特征在于：包括如下步驟：
(1)選區(qū)域：將樣品放入到透射電子顯微鏡下，選擇需要獲取環(huán)形暗場圖像的區(qū)域，調(diào)節(jié)好放大倍數(shù)，并采集此區(qū)域明場像；
(2)采集多晶衍射環(huán)：使用選區(qū)光闌采集樣品的多晶衍射環(huán)，選定需要獲取環(huán)形暗場圖像的衍射環(huán)；
(3)采集暗場圖像：整個暗場圖像的采集過程中須保持放大倍數(shù)、物鏡電流的參數(shù)不變，首先使用物鏡光闌在步驟(2)選定的衍射環(huán)中選取一部分，采集暗場圖像；然后使用物鏡光闌沿步驟(2)選定的衍射環(huán)向下選取一部分衍射環(huán)，采集暗場圖像；繼續(xù)沿著衍射環(huán)往下選取部分衍射環(huán)，采集暗場圖像，直至物鏡光闌所選取的總長度大于步驟(2)選定衍射環(huán)的一半，暗場圖像采集完成；
(4)組合圖像：使用圖像軟件疊加步驟(3)所采集的所有暗場圖片，生成步驟(2)選定的衍射環(huán)的環(huán)形暗場像。
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