[發明專利]一種可柔性變倍的離軸數字全息測量裝置

在審

• 申請號: 201710308564.5
• 申請日: 2017-05-04
• 公開（公告）號: CN106969702A
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 文永富;程灝波
• 申請（專利權）人: 北京理工大學深圳研究院
• 主分類號: G01B9/021
• 分類號: G01B9/021
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可柔性變倍的離軸數字全息測量裝置，其特征在于，包括激光器1、第一反射鏡2、擴束準直單元3、第二反射鏡4、電控變焦透鏡5、顯微物鏡6、分光鏡7、平面鏡8、成像設備10以及計算機11；所述電控變焦透鏡5、顯微物鏡6、分光鏡7和平面鏡8構成同軸光學系統；被測物體9中心、分光鏡7中心和成像設備10中心在同一豎直線上；工作原理如下：激光器1產生激光，激光通過第一反射鏡2后進入至擴束準直單元3；經擴束準直單元3后形成的平行光通過第二反射鏡4后再次反射至電控變焦透鏡5；此時平行光經電控變焦透鏡5和顯微物鏡6組成的光學系統后進入分光鏡7，隨后被分成兩束光波；其中一束光波經平面鏡8反射后作為參考光進入成像設備10；另一束光波經被測物體9表面反射后作為物光進入成像設備10；調節平面鏡8來控制參考光與物光的夾角，使物光與參考光干涉產生一幅離軸數字全息圖并由成像設備10記錄；最后通過數值重構算法計算得到被測物體的相位信息。

2.根據權利要求1所述的一種可柔性變倍的離軸數字全息測量裝置，其特征在于：所述電控可變焦透鏡5是通光口徑大于10mm的焦距可調透鏡，外加0~5V的控制電壓，焦距可快速調整為-667mm~286mm 范圍內的某一個特定值，響應時間小于2.5毫秒。

3.根據權利要求1所述的一種可柔性變倍的離軸數字全息測量裝置，其特征在于：所述電控可變焦透鏡5和顯微物鏡6組成的光學系統具有數值孔徑連續可變的特性，且數值孔徑NA值調節范圍最大超過0.1。