[發明專利]夾具及在靶材組件中安裝螺紋絲套的方法

有效

• 申請號: 201710305314.6
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN108789232B
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;羅明浩;韓軍輝
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B25B11/02
• 分類號: B25B11/02;B25B27/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

一種夾具及在靶材組件中安裝螺紋絲套的方法，其中方法包括：提供靶材組件和若干螺紋絲套，靶材組件具有濺射面、以及與濺射面相對的組件底面，靶材組件中具有若干孔槽，所述組件底面暴露出孔槽；形成夾具，夾具包括第一夾板、壓板夾和第二夾板，第二夾板中具有貫穿第二夾板的若干定位通孔，定位通孔用于分別和所述孔槽對準；將靶材組件置于第一夾板和第二夾板之間，濺射面與第一夾板接觸，組件底面與第二夾板接觸，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心軸與孔槽的中心軸重合；之后，采用壓板夾將第一夾板、靶材組件和第二夾板相互固定；之后，將螺紋絲套通過定位通孔分別安裝在孔槽中。所述方法提高了安裝螺紋絲套的工藝質量和工藝效率。

技術領域

本發明涉及機械加工領域，尤其涉及一種夾具及在靶材組件中安裝螺紋絲套的方法。

背景技術

靶材組件包括靶材、以及與靶材結合并具有一定結合強度的背板。背板在所述靶材組件裝配至濺射基臺中起到支撐作用，并具有傳導熱量的功效。為了實現將所述靶材組件安裝在濺射基臺的目的，通常在背板的底部安裝有螺紋絲套，采用螺紋絲套將背板和濺射基臺相互連接并相互固定。

在背板的底部安裝螺紋絲套的質量對靶材組件安裝在濺射基臺的工藝穩定性有較大的影響。且在實際情況中，對在背板的底部安裝螺紋絲套的效率有著一定的要求。

然而，現有技術中在背板的底部安裝螺紋絲套的工藝質量和效率均較差。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種夾具及在靶材組件中安裝螺紋絲套的方法，以提高安裝螺紋絲套的工藝質量和工藝效率。

為解決上述問題，本發明提供一種在靶材組件中安裝螺紋絲套的方法，包括：提供靶材組件和若干螺紋絲套，所述靶材組件具有濺射面、以及與濺射面相對的組件底面，靶材組件中具有若干孔槽，所述組件底面暴露出孔槽；形成夾具，夾具包括第一夾板、壓板夾和第二夾板，第二夾板中具有貫穿第二夾板的若干定位通孔，所述定位通孔用于分別和所述孔槽對準；將靶材組件置于第一夾板和第二夾板之間，濺射面與第一夾板接觸，組件底面與第二夾板接觸，且定位通孔在沿定位通孔延伸方向上的中心軸與孔槽的中心軸重合；將靶材組件置于第一夾板和第二夾板之間后，采用壓板夾將第一夾板、靶材組件和第二夾板相互固定；將第一夾板、靶材組件和第二夾板相互固定后，將螺紋絲套通過定位通孔分別安裝在孔槽中。

可選的，所述螺紋絲套在自由狀態下具有最大絲套外徑，所述定位通孔的孔徑小于或等于最大絲套外徑，所述孔槽的孔徑小于所述最大絲套外徑。

可選的，所述定位通孔的孔徑大于所述孔槽的孔徑。

可選的，所述螺紋絲套在自由狀態下的長度小于或等于所述孔槽的深度。

可選的，形成所述第二夾板的方法包括：提供第二初始夾板；根據靶材組件中若干孔槽的位置，對第二初始夾板進行機械加工，使第二初始夾板形成第二夾板，第二夾板中具有貫穿第二夾板的所述若干定位通孔。

可選的，所述第一夾板包括核心夾板區和位于核心夾板區周圍的邊緣夾板區，所述壓板夾固定在邊緣夾板區；在自核心夾板區的中心至邊緣的方向上核心夾板區的尺寸大于靶材組件的最大外徑；將所述靶材組件置于第一夾板和第二夾板之間后，靶材組件與壓板夾位于第一夾板的同一側，所述濺射面與核心夾板區接觸；所述壓板夾包括操作柄、壓桿和壓頭部；在自邊緣夾板區至核心夾板區的方向上，所述壓桿位于操作柄和核心夾板區之間，所述壓桿具有相對的第一壓桿端和第二壓桿端、以及位于第一壓桿端和第二壓桿端之間的中間桿部，中間桿部與操作柄可轉動連接；所述壓頭部固定在第一壓桿端且位于第一壓桿端和第一夾板之間；所述操作柄用于通過控制第一壓桿端以中間桿部與操作柄的連接處為中心進行轉動而調節第一壓桿端至第一夾板的距離，以使壓頭部朝向核心夾板區和遠離核心夾板區運動；采用壓板夾將第一夾板、靶材組件和第二夾板相互固定的過程包括：操作所述操作柄使壓頭部朝向核心夾板區運動并施壓于第二夾板。