[發明專利]一種等離子體發生裝置用電暈電極及其制作方法

有效

• 申請號: 201710305195.4
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN108811288B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 周志華;釋延豹
• 申請（專利權）人: 深圳天基權健康科技集團股份有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24;C23F4/00;C23C18/44;C23C18/18
• 代理公司: 北京京萬通知識產權代理有限公司 11440
• 代理人: 萬學堂

本發明提供了一種等離子體發生裝置用電暈電極的制作方法，所述制作方法主要包括：清洗?干燥?覆膜?刻蝕?清洗?干燥?沖壓?覆膜；該發明開發了一種刻蝕、沖壓以及鍍膜新工藝，該工藝以鈦板為基材，首先通過刻蝕加工出圓柱形電極形狀，然后對圓柱形電極進行沖壓以制備出尖端形狀，該加工方法能確保各個放電點的加工的精度，提高放電的均勻性，減小放電電極的尺寸；另外，本發明還通過鍍膜的方法在有突起的鈦電極表面鍍一層鉑，從而增加電極的使用壽命及放電的穩定性。

技術領域

本發明涉及等離子放電技術領域，特別是涉及一種等離子體發生裝置用電暈電極及其制作方法。

背景技術

等離子體是完全電離或部分電離、電荷數近于相等的正負帶電粒子和中性粒子的物質聚集態。等離子體能夠產生活性成分，引起常規化學反應中難于實現的物理變化和化學反應。大氣壓非平衡等離子體由于其溫度低，且富含高能電子、離子、激發態原子、分子及自由基等活性物種，這些活性成分易于與接觸的物質反應，因此被廣泛應用于材料改性、水處理、空氣凈化、消毒保鮮、生物醫療等方面。

2006年，Fridman首次報道低溫等離子體具有顯著促進凝血的作用，指出低溫等離子體用于凝血實際處理的好處。經過近十來年的研究，人們對等離子體促進凝血的機理有了很清晰的認識。研究人員還發現局部活性等離子體成分可有效地減少創傷面上的細菌量，通過電場的深度刺激，促進血液微循環，提高傷口組織的氧氣和營養的供應。深層次的刺激血液微循環和局部細菌的減少，激活身體對慢性疾病導致損傷的自愈能力。

由于低溫等離子體技術治療傷口相比于傳統藥物具有見效快、無副作用等優勢，因此具有很好的市場前景。電暈放電由于其結構簡單、易于裝置小型化且等離子體能直接作用到皮膚上，可能成為未來相關產品的主流技術。然而，當前應用的放電裝置都是固定電極結構，細金屬絲作為電暈電極，很容易斷裂，壽命大多在三至六個月，例如：中國發明專利申請號為200710038821.4，發明名稱《拼裝積木式窄間距靜電場裝置》。鋸齒狀或尖針狀結構的電暈電極雖然不易斷，但是，尖端長時間放電，發熱和離子濺射雙重作用，導致尖端易于鈍化，也容易發生微弧放電現象。纖薄的帶狀電暈電極也不易斷，可獲得類似細金屬絲的放電效果，但是，帶狀電極上易發生缺口，形成局部微放電，例如：中國發明專利中請號為200910263798.8，發明名稱《金屬帶--板結構反應器》。以上四種當前最常用的電暈電極均存在放電均勻性也較差和電極壽命短的問題，往往只有幾個月，需要定期檢查并更換電暈電極，維護成本高，一旦維護不及時，發生斷絲即失效，或者發生局部微放電，嚴重制約了其推廣應用，因此，研發出一種長壽命的電暈放電電極至關重要。

發明內容

本發明的目的就是要提供一種等離子體發生裝置用電暈電極及其制作方法，本發明制備出的電暈電極具有放電均勻性好，放電壽命長以及穩定性好的優點。

為實現上述目的，本發明是通過如下方案實現的：

一種等離子體發生裝置用電暈電極的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)取一塊厚度為1～2mm的鈦板，加工成一定尺寸的片狀鈦板；

(2)將步驟(1)的片狀鈦板置于盛有4wt％-7wt％NaOH溶液的超聲清洗槽中進行超聲清洗，清洗結束后先用去離子水進行沖洗，然后用潔凈的壓縮氣體將鈦板吹干；

(3)在步驟(2)得到的鈦板表面涂覆一層負性光刻膠，之后將掩模版置于光刻膠上，并進行光刻膠的曝光；

(4)洗去步驟(3)鈦板表面未曝光的光刻膠，并利用等離子刻蝕技術在鈦板表面刻蝕出所需的圖案，所述刻蝕的刻蝕深度為50～300μm；

(5)洗除鈦板表面的光刻膠，然后將刻蝕后的鈦板置于超聲清洗槽中進行超聲清洗40～60min，清洗結束后先用去離子水進行沖洗，然后用潔凈的壓縮氣體將鈦板吹干；

(6)對鈦板表面曝光的位置進行沖壓，使圓柱端面壓出尖端形狀；