[發明專利]一種多層互連結構的化學機械研磨仿真方法和裝置有效
| 申請號： | 201710305141.8 | 申請日： | 2017-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN108733866B | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 劉建云;陳嵐;郭葉 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G06F30/20 | 分類號： | G06F30/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 100029 北京市朝陽*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多層 互連 結構 化學 機械 研磨 仿真 方法 裝置 | ||
1.一種多層互連結構的化學機械研磨仿真方法，其特征在于，所述方法包括：
讀取多層互連結構的版圖結構數據；所述多層互連結構至少包括第一層互連結構和位于所述第一層互連結構上方的第二層互連結構；
采用單層金屬化學機械研磨模型對第一層互連結構進行化學機械研磨仿真，得到第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數；
對所述第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數進行放大處理；
以放大處理后的第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數作為第二層互連結構的初始表面形貌不平坦性描述參數，采用所述單層金屬化學機械研磨模型對第二層互連結構進行化學機械研磨仿真，得到所述第二層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述對所述第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數進行放大處理，具體包括：
獲取第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數的預設系數函數；
將所述第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數與所述預設系數函數相乘。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述預設系數函數為常數系數，其中，所述常數系數的數值大于1；
或者，所述預設系數函數為與第一層互連結構的版圖中的特征參數相關的函數；所述第一層互連結構的版圖中的特征參數包括第一層互連結構的版圖中的等效密度、等效線寬和等效間距中的至少兩個。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，當所述預設系數函數為常數系數時，所述獲取第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數的預設系數函數，具體包括：
調試第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數的擴大系數；
利用調試的多個擴大系數分別與第一層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數相乘，得到各個擴大后的仿真表面形貌不平坦性描述參數；
分別以該各個擴大后的仿真表面形貌不平坦性描述參數作為第二層互連結構的初始表面形貌不平坦性描述參數，對第二層互連結構進行CMP仿真，得到第二層互連結構的各個仿真表面形貌不平坦性描述參數；
將第二層互連結構的各個仿真表面形貌不平坦性描述參數分別與所述多層互連結構進行實際CMP工藝之后的實際表面形貌不平坦性描述參數進行比較；
將與實際表面形貌不平坦性描述參數的差值在第一預設閾值范圍內的第二層互連結構的仿真表面形貌不平坦性描述參數對應的擴大系數作為預設系數函數。
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