[發明專利]探針卡系統、探針載體裝置及探針載體裝置的制法

有效

• 申請號: 201710302717.5
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN108802443B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 廖致傑;孫育民;程志豐
• 申請（專利權）人: 創意電子股份有限公司;臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種探針載體裝置，其特征在于，包括：

一載板；

至少一立體階梯結構，連接該載板，包含多數個階狀體，所述多數個階狀體朝遠離該載板的方向依序遞減；以及

至少一探針模塊，包含多數個探針層，所述多數個探針層間隔地層疊于該立體階梯結構內，每一所述探針層包含多數個并排的懸臂式探針，所述探針層的所述多數個懸臂式探針分別從不同的所述階狀體伸出該立體階梯結構，用以分別觸壓一待測物的多數個導電接點，

其中每一所述懸臂式探針伸出該立體階梯結構的部分具有一力矩長度，所述探針層的所述多數個懸臂式探針的所述力矩長度彼此相同。

2.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，所述階狀體還包含：

至少一第一階面，圍繞以形成一第一空間區，其中一部分的所述懸臂式探針從該第一階面伸出該立體階梯結構；

至少一第二階面，圍繞以形成一第二空間區，該第二空間區接通該第一空間區，且該第二空間區大于該第一空間區，其中另一部分的所述懸臂式探針從該第二階面伸出該立體階梯結構；以及

至少一連接面，鄰接該第一階面與該第二階面。

3.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，每一所述懸臂式探針的該力矩長度為一第一虛擬平面與一第二虛擬平面之間所定義的一最小直線距離，

其中該第一虛擬平面與該第二虛擬平面相互平行，且該第一虛擬平面通過該懸臂式探針的一針端，該第二虛擬平面為對應的該階狀體被該懸臂式探針所伸出的一面。

4.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，每一所述懸臂式探針包含相連接的一懸臂段及一彎折部，該懸臂段位于該立體階梯結構內，且該彎折部的一針端用以觸壓所述多數個導電接點其中之一。

5.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，所述多數個探針層其中二相鄰者皆位于同一個該階狀體內。

6.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，每一所述探針層僅位于所述多數個階狀體其中之一。

7.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，所述多數個探針層其中二相鄰者的所述懸臂式探針彼此交錯排列。

8.根據權利要求1所述的探針載體裝置，其特征在于，該載板包含一貫口、一第一主面與一第二主面，該第一主面相對該第二主面，該貫口沿一軸心線貫穿該載板，且連接該第一主面與該第二主面；以及

該至少一探針模塊與該至少一立體階梯結構分別為多數個時，所述立體階梯結構圍繞該軸心線，且所述立體階梯結構內的所述懸臂式探針皆朝該軸心線的方向延伸。

9.一種探針卡系統，其特征在于，包括：

一平臺，具有一承載面，用以承載一待測物，其中該待測物具有一內圈部與一外圈部，該外圈部圍繞該內圈部，該內圈部具有多數個第一導電接點，該外圈部具有多數個第二導電接點；以及

一探針卡裝置，位于該平臺上，包括：

一電路板；以及

一探針載體裝置，包括：

一載板；

一固針部，位于該載板的一面，具有至少一立體階梯結構，連接該載板，包含至少一第一階面，圍繞以形成一第一空間區；至少一第二階面，圍繞以形成一第二空間區，該第二空間區接通該第一空間區，且大于該第一空間區；以及至少一連接面，鄰接該第一階面與該第二階面；以及至少一探針模塊，電性連接該電路板，包含至少一第一探針層與至少一第二探針層，該第一探針層與該第二探針層間隔地層疊于該固針部內，該第一探針層包含多數個第一懸臂式探針，所述多數個第一懸臂式探針從該第一階面伸出該立體階梯結構，且分別觸壓所述多數個第一導電接點，該第二探針層包含多數個第二懸臂式探針，所述多數個第二懸臂式探針從該第二階面伸出該立體階梯結構，且分別觸壓所述多數個第二導電接點，其中每一所述第一懸臂式探針伸出該立體階梯結構的部分具有一第一力矩長度，每一所述第二懸臂式探針伸出該立體階梯結構的部分具有一第二力矩長度，該第一力矩長度與該第二力矩長度彼此相同。

10.一種探針載體裝置的制法，其特征在于，包括：

放置一第一懸臂式探針至一載板上；

涂布一第一膠體以覆蓋該第一懸臂式探針與該載板；

固化該第一膠體為一第一固化層，使得該第一懸臂式探針受固定于該第一固化層內，且該第一懸臂式探針的一部分伸出該第一固化層之外，且該第一懸臂式探針伸出該第一固化層的該部分具有一第一力矩長度；

放置一第二懸臂式探針至該第一固化層背對該載板的一面；

涂布一第二膠體以覆蓋該第二懸臂式探針與該第一固化層；以及

固化該第二膠體為一第二固化層，使得該第二固化層較該第一固化層內縮，且與該第一固化層形成一立體階梯結構，其中該第二懸臂式探針受固定于該第二固化層內，且該第二懸臂式探針的一段伸出該第二固化層之外，該第二懸臂式探針伸出該第二固化層的該段具有一第二力矩長度，該第二力矩長度等于該第一力矩長度。