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[發明專利]非易失性存儲單元和非易失性存儲器在審

專利信息
申請號: 201710301060.0 申請日: 2017-05-02
公開(公告)號: CN107452744A 公開(公告)日: 2017-12-08
發明(設計)人: 吳鈞雄;金雅琴;林崇榮 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L27/11517 分類號: H01L27/11517;H01L27/11521;H01L27/11551
代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409 代理人: 章社杲,李偉
地址: 中國臺*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 非易失性 存儲 單元 非易失性存儲器
【權利要求書】:

1.一種非易失性存儲單元,包括:

襯底,具有鰭;

多個絕緣體,位于所述襯底的上方,其中,所述鰭位于所述多個絕緣體之間;

浮柵,位于所述鰭和所述多個絕緣體的上方;以及

控制柵極,位于所述多個絕緣體上的所述浮柵的上方且包括位于所述浮柵的多個側壁上方的多個第一接觸槽中的至少一個。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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