[發明專利]檢查裝置、檢查系統和物品制造方法

在審

• 申請號: 201710299889.1
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN107340297A
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 松田英樹;植村卓典
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 宋巖

技術領域

本發明涉及用于執行物體的檢查的檢查裝置、檢查系統以及物品制造方法。

背景技術

對于針對例如外觀(appearance)而對物體(例如工件(work))的檢查，已經越來越多地使用基于通過對用光照明的物體進行成像而獲得的圖像對物體進行檢查的檢查裝置來代替視覺檢查裝置。這些檢查裝置包括用于針對顏色缺陷以及物體表面的高度不均勻性(凹和凸)而對物體進行檢查的檢查裝置(日本專利No.5470708)。在日本專利No.5470708中公開的檢查裝置基于從物體規則反射的光(鏡面反射光)檢測物體的高度不均勻性并且基于從物體漫反射的光檢測與顏色不規則性相關聯的缺陷。

雖然在日本專利No.5470708中公開的檢查裝置基于從物體漫反射的光檢測顏色不規則性，但是沒有充分考慮照明光的波長以用于關于物體的顏色而檢查該物體。

發明內容

本發明提供例如在關于物體的顏色而檢查物體的方面有利的檢查裝置。

本發明的一方面提供用于執行物體的檢查的檢查裝置。該裝置包括：被配置為對物體進行照明的照明設備、被配置為對由照明設備照明的物體進行成像的成像設備、以及被配置為基于由成像設備所獲得的圖像執行用于檢查的處理的處理器。該處理器被配置為基于在照明設備用具有第一波長的光的暗場照明下由成像設備獲得的第一圖像和在照明設備用具有不同于第一波長的第二波長的光的暗場照明下由成像設備獲得的第二圖像執行處理。

從以下參考附圖對示例性實施例的描述，本發明的另外的特征將變得清楚。

附圖說明

圖1是示出根據第一實施例的檢查裝置的示例性配置的圖。

圖2是示出照明設備的示例性配置的圖。

圖3是示出照明設備的示例性配置的圖。

圖4是示出顏色缺陷的閾值的圖。

圖5是示出根據第二實施例的檢查裝置的照明設備的示例性配置的圖。

圖6是示出根據第三實施例的檢查裝置的示例性配置的圖。

具體實施方式

將參考附圖描述本發明的實施例。在示出實施例的圖中，原則上(除非另有注釋)，相同的部件由相同的附圖標記來指定，并且避免冗余描述。

第一實施例

圖1是示出根據第一實施例的檢查裝置的示例性配置的圖。在圖1中，檢查裝置1檢查目標(物體)(諸如工件10)的外觀。工件10的示例包括用于工業產品中的金屬構件和樹脂構件。工件10的表面可能具有缺陷(諸如損傷(flaw)、不規則性(例如顏色不規則性)或高度不均勻性)。檢查裝置1基于通過對工件10進行成像而獲得的圖像來檢測缺陷并且將該工件分類(歸類)為例如無缺陷的或者有缺陷的。

檢查裝置1包括照明設備11、包括照相機12和光學系統14的成像設備、控制器18、處理器15、顯示單元16和輸入單元17。檢查裝置1可以進一步包括用于保持工件10的保持器13。工件10被運送單元(未示出)(諸如圖6中的傳送器1012)攜載到相對于檢查裝置1的預定的位置。在檢查之后，工件10由運送單元攜載遠離預定的位置。

照明設備11對工件10進行照明。成像設備(包括照相機12和光學系統14)對由照明設備11照明的工件10進行成像以獲得圖像。由成像設備獲得的工件10的圖像被傳遞到處理器15。處理器15可以包括信息處理裝置，該信息處理裝置包括中央處理單元(CPU)15a、隨機存取存儲器(RAM)15b和硬盤驅動器(HDD)15c。處理器15可以獲得關于所獲得(傳遞)的目標圖像的評估值并且執行基于該評估值和閾值(允許的范圍)將工件分類為無缺陷或有缺陷的處理(分類處理)。例如，CPU 15a執行用于分類處理的程序并且RAM 15b和HDD 15c存儲程序和數據。顯示單元16包括TV監視器并且顯示由處理器15執行的處理的結果。輸入單元17包括鍵盤17a和鼠標17b并且響應于例如用戶操作允許數據或指令輸入到控制器18或處理器15。控制器18和處理器15可以被配置為公共信息處理單元。