[發明專利]一種正六角形圖形化襯底

在審

• 申請號: 201710294891.X
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN107170868A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 王肖磊;梁宗文;孫智江
• 申請（專利權）人: 海迪科（南通）光電科技有限公司
• 主分類號: H01L33/20
• 分類號: H01L33/20;H01L33/22;C30B25/18
• 代理公司: 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙)11316
• 代理人: 滑春生

1.一種正六角形圖形化襯底，其特征在于：包括一襯底，所述襯底表面有周期化凸起或凹陷圖形，所述凸起或凹陷圖形的底邊為正六角形且呈蜂窩狀緊致排列，即排列正六角形任一邊的垂直平分線通過該正六角形與相應的相鄰正六角形的中心，且相鄰正六角形之間具有間隙，排列正六角形的任一邊與相鄰正六角形對應的邊關于該間隙軸對稱。

2.根據權利要求1所述的正六角形圖形化襯底，其特征在于：所述周期化圖形的長度周期為100～8000nm，周期化圖形的底邊邊長為10～5000nm，周期化圖形的高度為0.1～10μm，相鄰正六角形之間的間隙為50～1000nm。

3.根據權利要求1所述的正六角形圖形化襯底，其特征在于：所述凸起或凹陷圖形為正正六角臺形、正正六角錐形或正正六角柱形中的任一種。

4.根據權利要求1所述的正六角形圖形化襯底，其特征在于：所述正六角形的頂角可以帶有弧度，所述弧度的長度為0～500nm。

5.根據權利要求1所述的正六角形圖形化襯底，其特征在于：所述正六角形的邊長可以是直線、外凸的曲線或內凹的曲線中的任一種。

6.根據權利要求1所述的正六角形圖形化襯底，其特征在于：所述襯底為藍寶石、碳化硅、硅或鋁酸鋰中的任一種。