[發明專利]一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統及控制方法

在審

• 申請號: 201710294248.7
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN106926112A
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 劉曉強
• 申請（專利權）人: 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005;B24B37/015;B24B57/02
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司37212
• 代理人: 鞏同海

1.一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統，其特征在于：包括自動調節控制裝置(11)、拋光機(1)、冷水機、溫度傳感器(3)、阻力測量計(6)和PH傳感器(9)，自動調節控制裝置(11)分別與拋光機(1)、冷水機、溫度傳感器(3)、阻力測量計(6)和PH傳感器(9)連接，拋光機(1)的旋轉軸(2)下連接有拋頭(4)，阻力測量計(6)設置在旋轉軸(2)與拋頭(4)連接處，阻力測量計(6)通過測量拋光機(1)的旋轉軸(2)與拋頭(4)的側向作用力以測量藍寶石襯底片與拋光墊(5)之間的摩擦阻力，拋頭(4)的下方為拋光機(1)的拋光盤，拋光墊(5)粘貼于拋光盤上，拋光墊(5)的上方設有溫度傳感器(3)和拋光液流液管(7)，溫度傳感器(3)用于檢測拋光盤加工溫度，拋光液流液管(7)的另一端設置在拋光液灌(8)內且與設置在拋光液灌(8)內的抽液泵連接，PH傳感器(9)設置在拋光液灌(8)內并檢測拋光液灌(8)內拋光液的PH值。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統，其特征在于：還包括堿液槽(10)，堿液槽(10)與設有電磁閥的堿液滴液管連接，電磁閥通過繼電器與自動調節控制裝置(11)連接。

3.根據權利要求2所述的一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統，其特征在于：所述堿液槽(10)內設有質量分數為10％的KOH溶液。

4.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統，其特征在于：所述溫度傳感器(3)采用紅外線傳感器。

5.根據權利要求1所述的一種藍寶石襯底拋光的劃痕控制系統，其特征在于：所述阻力測量計(6)采用壓力傳感器。

6.一種如權利要求1～5任意一項所述的藍寶石襯底拋光的劃痕控制方法，其特征在于：包括下列步驟：

步驟一：將貼好藍寶石襯底片的陶瓷盤安裝于拋光機(1)旋轉軸(2)上，并固定，將拋光墊(5)粘貼于拋光盤上；

步驟二：設置工藝條件；

步驟三：啟動控制系統并進行藍寶石襯底片拋光；

設定好工藝條件并啟動控制系統后，抽液泵抽取拋光液灌(8)內的拋光液，并通過拋光液流液管(7)不斷在拋光墊(5)上流出拋光液，藍寶石襯底片貼在陶瓷盤上，通過拋光機(1)上的拋頭(4)在陶瓷盤背面施加壓力，拋光盤和拋頭(4)轉動時會產生摩擦，從而對藍寶石襯底片進行拋光；拋光過程中，當PH傳感器(9)檢測到拋光液灌(8)內拋光液的PH值低于PH設定值時，PH傳感器(9)將信號傳遞給自動調節控制裝置(11)，自動調節控制裝置(11)控制繼電器進而打開電磁閥使堿液滴液管添加KOH溶液；當溫度傳感器(3)檢測拋光盤的溫度高于或低于其溫度設定值時，溫度傳感器(3)將檢測到的信號傳遞給自動調節控制裝置(11)，自動調節控制裝置(11)控制冷水機相應開啟加熱或制冷程序；當阻力測量計(6)檢測到摩擦阻力低于或高于其設定值時，將信號傳遞給自動調節控制裝置(11)，自動調節控制裝置(11)控制拋光機(1)逐步升高或降低拋頭(4)在陶瓷盤上施加的壓力，直到摩擦阻力恢復到其設定值；

步驟四：寶石襯底片拋光完成后關閉控制系統。