[發明專利]光學傳感器以及形成光學傳感器的方法

有效

• 申請號: 201710289320.7
• 申請日: 2017-04-27
• 公開（公告）號: CN107655573B
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: D·加尼
• 申請（專利權）人: 意法半導體有限公司
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;H01L23/31;H01L21/56
• 代理公司: 11256 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 王茂華;張昊

1.一種光學傳感器，包括：

襯底，所述襯底具有第一表面；

第一通孔，所述第一通孔延伸穿過所述襯底；

溝槽，所述溝槽形成在所述襯底的所述第一表面中并與所述第一通孔流體連通；以及

傳感器裸片，所述傳感器裸片附接至所述襯底的所述第一表面，所述傳感器裸片覆蓋所述第一通孔以及所述溝槽的第一部分，所述溝槽的第二部分未被所述傳感器裸片所覆蓋。

2.如權利要求1所述的光學傳感器，其中，所述襯底包括阻焊層，所述溝槽形成在所述阻焊層中。

3.如權利要求1所述的光學傳感器，進一步包括耦合至所述襯底的發光器件。

4.如權利要求3所述的光學傳感器，其中，所述發光器件附接至所述傳感器裸片的頂表面。

5.如權利要求3所述的光學傳感器，進一步包括帽蓋，所述帽蓋定位在所述傳感器裸片的側表面周圍并且覆蓋所述傳感器裸片的至少一部分，所述帽蓋具有側壁和內壁，所述內壁將所述發光器件與所述傳感器裸片的返回傳感器區域光學地分隔開。

6.如權利要求5所述的光學傳感器，其中，所述帽蓋限定了第一腔室和第二腔室的多個部分，所述第一腔室和所述第二腔室由所述內壁分隔開。

7.如權利要求5所述的光學傳感器，其中，所述溝槽的所述第二部分包括第一通氣孔和第二通氣孔，所述第一通氣孔位于所述第一腔室中，所述第二通氣孔位于所述第二腔室中。

8.如權利要求1所述的光學傳感器，其中，所述傳感器裸片通過裸片附接膜附接至所述襯底。

9.如權利要求1所述的光學傳感器，進一步包括第二通孔，所述第二通孔延伸穿過所述襯底并與所述溝槽流體連通，所述第二通孔被所述傳感器裸片所覆蓋。

10.一種形成光學傳感器的方法，包括：

形成通氣路徑，所述通氣路徑包括在襯底的第一表面處的溝槽和穿過所述襯底的通孔；

將傳感器裸片附接至所述襯底的所述第一表面，所述傳感器裸片覆蓋所述溝槽的第一部分，所述溝槽的第二部分未被所述傳感器裸片所覆蓋；

將所述傳感器裸片電耦合至所述襯底；以及

將帽蓋耦合至所述襯底以形成至少一個腔室，所述溝槽的所述第二部分與所述至少一個腔室流體連通。

11.如權利要求10所述的方法，所述襯底包括阻焊層，其中，形成溝槽包括在所述阻焊層中形成溝槽。

12.如權利要求10所述的方法，進一步包括：

將發光器件附接至所述傳感器裸片；以及

將所述發光器件電耦合至所述襯底。

13.如權利要求12所述的方法，其中，將所述帽蓋耦合至所述襯底包括將所述帽蓋的側壁耦合至所述襯底，所述帽蓋包括內壁使得所述至少一個腔室包括第一腔室和第二腔室，所述內壁將所述第一腔室中的所述發光器件與所述第二腔室中的所述傳感器裸片的返回傳感器區域光學地分隔開。

14.如權利要求13所述的方法，其中，所述溝槽的所述第二部分包括第一通氣孔和第二通氣孔，所述第一通氣孔位于所述第一腔室中，所述第二通氣孔位于所述第二腔室中。

15.如權利要求10所述的方法，其中，將傳感器裸片附接至所述襯底的所述第一表面包括用裸片附接膜將所述傳感器裸片附接至所述襯底的所述第一表面。

16.如權利要求10所述的方法，進一步包括：

形成第二通孔，所述第二通孔穿過所述襯底并與所述溝槽流體連通。