[發明專利]高密度光柵的制作方法

有效

• 申請號: 201710278740.5
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107093487B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 李文超;陳鳴閩;李志成;李凌;辜嘉
• 申請（專利權）人: 中國科學院深圳先進技術研究院
• 主分類號: G21K1/06
• 分類號: G21K1/06
• 代理公司: 深圳智趣知識產權代理事務所(普通合伙) 44486
• 代理人: 王策

1.高密度光柵的制作方法，其特征在于：包括以下步驟：

制作低密度光柵步驟，制作n塊光柵條寬度為a、光柵周期距離為A的低密度光柵，其中，n為大于或等于2的自然數，且n*aA；

疊壓步驟，將n塊所述低密度光柵疊壓固定在一起制成光柵條寬度為a、光柵周期距離為A/n的高密度光柵；

n等于2，所述疊壓步驟中，2塊所述低密度光柵的疊壓位置關系為：其中一塊所述低密度光柵的光柵條剛好處于另一塊所述低密度光柵的光柵周期距離1/2位置處；或者，

n等于3，定義3塊所述低密度光柵分別為第一塊低密度光柵、第二塊低密度光柵和第三塊低密度光柵，所述疊壓步驟中，3塊所述低密度光柵的疊壓位置關系為：第二塊所述低密度光柵的光柵條剛好處于第一塊所述低密度光柵的光柵周期距離1/3位置處，第三塊所述低密度光柵的光柵條剛好處于第一塊所述低密度光柵的光柵周期距離2/3位置處。

2.如權利要求1所述的高密度光柵的制作方法，其特征在于：所述疊壓步驟中，各所述低密度光柵以光柵條沿直線相互交替的方式疊壓在一起；且/或，

各所述低密度光柵都采用機械刻劃方法或者全息光刻方法制成。

3.如權利要求1或2所述的高密度光柵的制作方法，其特征在于：所述疊壓步驟中，各所述低密度光柵通過粘接方式疊壓固定在一起。

4.如權利要求3所述的高密度光柵的制作方法，其特征在于：在所述疊壓步驟之后還設有固定清洗步驟，所述固定清洗步驟為：采用固定架固定各所述低密度光柵四周，在固定架上粘接覆蓋壓圈，洗去各所述低密度光柵中間的粘合層。