[發明專利]測量設備、壓印裝置和制造產品、光量確定及調整的方法

有效

• 申請號: 201710274175.5
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107305322B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 八重樫憲司;巖井俊樹;古卷貴光
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種測量設備，其特征在于，包括：

照明單元，用于發射包括具有第一波長的照明光和具有第二波長的照明光的光，并且被配置成照明設置在第一構件上的第一對準標記和設置在第二構件上的第二對準標記，并且照明設置在第一構件上的第三對準標記和設置在第二構件上的第四對準標記；

檢測單元，被配置成檢測來自第一對準標記和第二對準標記的光以及來自第三對準標記和第四對準標記的光；

處理單元，被配置成基于來自第一對準標記和第二對準標記的檢測光來獲得第一對準標記和第二對準標記之間的第一相對位置，以及基于來自第三對準標記和第四對準標記的檢測光來獲得第三對準標記和第四對準標記之間的第二相對位置；以及

調整單元，被配置成調整具有第一波長的光的光量與具有第二波長的光的光量，使得由檢測單元檢測的來自第一對準標記和第二對準標記的光的檢測光量與由檢測單元檢測的來自第三對準標記和第四對準標記的光的檢測光量之間的相對值落在預定范圍內。

2.根據權利要求1所述的測量設備，

其中，所述調整單元包括：改變單元，被配置成改變第一光源和第二光源的輸出能量，所述第一光源被配置成發射具有第一波長的照明光，所述第二光源被配置成發射具有第二波長的照明光；以及

其中，所述調整單元被配置成控制所述改變單元以調整從第一光源發射的具有第一波長的照明光的光量與從第二光源發射的具有第二波長的照明光的光量之間的相對量。

3.根據權利要求1所述的測量設備，其中，所述調整單元被配置成調整具有第一波長的光的光量與具有第二波長的光的光量，使得由檢測單元檢測的來自第三對準標記的光的檢測光量和來自第四對準標記的光的檢測光量之間的相對值落在預定范圍內。

4.根據權利要求1所述的測量設備，

其中，所述檢測單元包括被配置成獲得對準標記的圖像的圖像傳感器，

其中，所述圖像傳感器通過獲得在圖像傳感器的成像平面上的第一對準標記、第二對準標記、第三對準標記和第四對準標記的圖像來獲得第一對準標記、第二對準標記、第三對準標記和第四對準標記的圖像，以及

其中檢測光量是從獲得的第一對準標記、第二對準標記、第三對準標記和第四對準標記的圖像獲得的。

5.根據權利要求1所述的測量設備，其中，通過由檢測單元檢測來自第一對準標記和第二對準標記的光而獲得的第一對準標記和第二對準標記之間的第一相對位置的測量精度高于通過由檢測單元檢測來自第三對準標記和第四對準標記的光而獲得的第三對準標記和第四對準標記之間的第二相對位置的測量精度。

6.根據權利要求1所述的測量設備，其中，第一對準標記是在第一方向和與第一方向不同的第二方向上都具有周期的第一衍射光柵，并且第二對準標記是在第二方向上具有周期的第二衍射光柵，第二衍射光柵的周期與第一衍射光柵的周期在第二方向上不同。

7.根據權利要求6所述的測量設備，

其中，所述檢測單元包括被配置成獲得對準標記的圖像的圖像傳感器，以及

其中，所述圖像傳感器被配置成獲得由第一衍射光柵和第二衍射光柵產生的莫爾條紋圖案的圖像、第三對準標記的圖像和第四對準標記的圖像。

8.根據權利要求7所述的測量設備，其中，所述調整單元被配置成調整具有第一波長的光的光量與具有第二波長的光的光量，使得由檢測單元檢測的來自第一衍射光柵和第二衍射光柵的端部的光的檢測光量小于來自第一衍射光柵和第二衍射光柵的中心部分的光的檢測光量的兩倍。

9.根據權利要求1所述的測量設備，還包括控制單元，所述控制單元被配置成確定具有第一波長的光的目標光量和具有第二波長的光的目標光量，使得由檢測單元檢測的來自第一對準標記和第二對準標記的光的檢測光量與來自第三對準標記和第四對準標記的光的檢測光量之間的相對值落在預定范圍內，以及

其中，調整單元被配置成將具有第一波長的光的光量和具有第二波長的光的光量調整到所確定的相應目標光量。