[發明專利]一種坩堝軸升降裝置

有效

• 申請號: 201710272634.6
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN108728896B
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 趙向陽;陳強;肖祥凱
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余昌昊

1.一種坩堝軸升降裝置，用于驅動坩堝軸進行升降運動，其特征在于，所述升降裝置包括：一驅動部件、一底盤、至少兩個升降部件以及傳動機構，所述至少兩個升降部件為三個螺桿，

所述驅動部件與三個所述螺桿連接，用于驅動三個所述螺桿，所述驅動部件通過所述傳動機構與每個所述螺桿連接；

三個所述螺桿與所述底盤連接，用于驅動所述底盤進行升降運動；

所述底盤，用于連接坩堝軸；

所述傳動機構包括一第一傳動桿、兩個第二傳動桿及兩個第三傳動桿；所述驅動部件與所述第一傳動桿連接，兩個所述第二傳動桿均與所述第一傳動桿連接，每個第二傳動桿對應連接一第三傳動桿，兩個所述第三傳動桿分別對應連接一螺桿，所述第一傳動桿連接另一螺桿；所述驅動部件驅動所述第一傳動桿旋轉，所述第一傳動桿帶動兩個所述第二傳動桿旋轉，每個所述第二傳動桿帶動各自所連接的第三傳動桿旋轉，每個所述第三傳動桿帶動各自所連接的螺桿旋轉。

2.如權利要求1所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，所述底盤上具有三個螺紋孔，每個螺桿均通過一螺紋孔與所述底盤連接，所述驅動部件驅動所有螺桿同時旋轉，從而通過螺紋傳動的方式驅動所述底盤進行升降運動。

3.如權利要求2所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，兩個第二傳動桿均與所述第一傳動桿通過齒輪嚙合連接。

4.如權利要求2所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，每個第二傳動桿均與所連接的第三傳動桿通過萬向節連接。

5.如權利要求2所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，每個第三傳動桿均通過蝸輪蝸桿機構與對應的螺桿連接。

6.如權利要求2所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，還包括施壓裝置，所述施壓裝置與所述底盤連接，用于減弱所述底盤的震動。

7.如權利要求6所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，所述施壓裝置包括：一震動探測裝置、一控制器、一油泵、一油缸安裝盤以及至少一個油缸；

所述震動探測裝置被設置于所述坩堝軸上，所述震動探測裝置與所述控制器連接，所述控制器與所述油泵連接，所述油泵與所述至少一個油缸連接，所述至少一個油缸安裝在所述油缸安裝盤上，所述至少一個油缸與所述底盤連接；所述油缸安裝盤位于所述底盤上方，并與每個螺桿均連接，并可沿螺桿上升或下降；

所述震動探測裝置探測所述坩堝軸的震動幅度，當該震動幅度大于預設值時，所述控制器控制所述油泵給所述至少一個油缸供油，使所述至少一個油缸給所述底盤施加作用力。

8.如權利要求7所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，所述油缸安裝盤具有至少兩個螺孔，所述油缸安裝盤通過位于所述油缸安裝盤上的至少兩個螺孔與所述至少兩個螺桿旋合在一起。

9.如權利要求7或8所述的坩堝軸升降裝置，其特征在于，所述油缸安裝盤具有一坩堝軸穿孔，所述坩堝軸穿過所述坩堝軸穿孔與所述底盤連接。