[發(fā)明專利]MEMS器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710261261.2 | 申請日： | 2017-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN107310272B | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 西面宗英;平井榮樹;中山雅夫 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/04 | 分類號： | B41J2/04 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司 11225 | 代理人： | 蘇萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 器件 液體 噴射 以及 裝置 | ||
1.一種微機電系統(tǒng)器件，其特征在于，具備：
第一基板，其具備驅動區(qū)域，并在該驅動區(qū)域內依次層壓有第一電極層、電介質層以及第二電極層；和
第二基板，其以與所述第一基板的層壓有所述電介質層的面對置的方式而被配置，
所述第一電極層及所述電介質層朝向從所述驅動區(qū)域偏離出的非驅動區(qū)域而延伸至與所述第二電極層相比靠外側，
具有彈性的第一樹脂被形成在所述電介質層的延伸方向上的包括所述第二電極層的端緣在內的區(qū)域內，
所述第一基板和所述第二基板在彼此間夾著發(fā)生了彈性變形的所述第一樹脂的狀態(tài)下，通過粘合劑而被固定，
覆蓋所述第一樹脂的表面的第一導電層被形成為與所述第一電極層電絕緣的狀態(tài)。
2.如權利要求1所述的微機電系統(tǒng)器件，其特征在于，
所述第二基板具備第三電極層，所述第三電極層經(jīng)由凸塊電極而與所述第一電極層導通，
所述凸塊電極具備具有彈性的第二樹脂和覆蓋了該第二樹脂的表面的第二導電層，
所述第一樹脂及所述第二樹脂被形成在所述第一基板或所述第二基板中的任意一個基板上且被形成在同一個基板上。
3.如權利要求1所述的微機電系統(tǒng)器件，其特征在于，
所述第二基板具備第三電極層，所述第三電極層經(jīng)由凸塊電極而與所述第一電極層導通，
所述凸塊電極具備具有彈性的第二樹脂和覆蓋了該第二樹脂的表面的第二導電層，
所述第一樹脂被形成在所述第一基板或所述第二基板中的任意一個基板上，所述第二樹脂被形成在所述第一基板或所述第二基板中的另一個基板上。
4.一種液體噴射頭，其特征在于，為權利要求1至3中任一項所述的微機電系統(tǒng)器件的一種，
所述液體噴射頭具備：
壓力室，其至少一部分通過所述驅動區(qū)域而被劃分出；和
噴嘴，其與所述壓力室連通。
5.一種液體噴射裝置，其特征在于，
具備權利要求4所述的液體噴射頭。
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