[發明專利]一種大面積超潔凈石墨烯及其宏量制備方法與其潔凈度的快速評估方法有效
| 申請號： | 201710260014.0 | 申請日： | 2017-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN108726510B | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發明（設計）人： | 劉忠范;彭海琳;林立;張金燦;孫祿釗 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | C01B32/186 | 分類號： | C01B32/186;G01N23/22;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245 | 代理人： | 關暢;王春霞 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 大面積 潔凈 石墨 及其 宏量 制備 方法 與其 快速 評估 | ||
【權利要求書】：
1.一種快速評估大面積石墨烯潔凈度的方法，包括如下步驟：在石墨烯樣品上沉積納米顆粒；根據所述納米顆粒的沉積情況，即實現對所述石墨烯樣品潔凈度的評估；
采用蒸鍍、逐層沉積、化學氣相沉積方法的方式沉積所述納米顆粒；
采用掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡或原子力顯微鏡對所述石墨烯樣品的潔凈度進行評估。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述蒸鍍為熱蒸鍍或電子束蒸鍍；
所述逐層沉積為分子束外延或原子層沉積；
所述熱蒸鍍的條件如下：
真空度為10-4~10-6Pa；
電流為20~150A；
速度為0.03~10nm/s；
所述電子束蒸鍍的條件如下：
真空度高于10-4 Pa，環境溫度低于30℃。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述化學氣相沉積方法為金屬有機物化學氣相沉積方法。
4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其特征在于：所述納米顆粒的厚度為0.1~5nm。
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