[發明專利]對位標記及基板對位方法

有效

• 申請號: 201710258537.1
• 申請日: 2017-04-19
• 公開（公告）號: CN106842838B
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 龔成波
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種對位標記及基板對位方法。所述對位標記包括：條狀的主對位標記、以及與所述主對位標記垂直相交的多個條狀的輔助對位標記，所述多個輔助對位標記包括：一第一輔助對位標記、至少兩個寬度不同的第二輔助對位標記、以及至少兩個寬度不同的第三輔助對位標記，所述第二輔助對位標記和第三輔助對位標記相對于主對位標記的位置不同，在基板對位時，可通過任意一個輔助對位標記與主對位標記的交匯區域的中心點坐標求出對位標記整體的中心點坐標，以完成對位標記中心點的定位，能夠在對位鏡頭的視野不變的情況下，增大對位標記的可檢測范圍，減少基板對位時間，提升基板對位效率。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種對位標記及基板對位方法。

背景技術

隨著顯示技術的發展，平板顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品，成為顯示裝置中的主流。現有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發光二極管顯示器件(Organic Light EmittingDisplay，OLED)。

液晶顯示器件和有機發光二極管顯示器件的制作過程都包括多個光刻制程以及檢測制程，而在執行光刻制程以及一些檢測制程之前，都必須先使基板對位到正確的位置，以保證曝光或檢測的準確性。而對位標記(Mark)便是用來支持基板對位操作的，對于精度較高的對位往往還分為粗對位和細對位兩個步驟，其中在細對位標記正常的情況下，粗對位正常進行后切換高倍率鏡頭進行細對位都能順利進行。

如圖1所示，在基板粗對位的過程中，基板100上的四角分設有四個對位標記200，所述對位標記200的呈十字形，對位時將對位機臺的對位鏡頭300移動到相應的對位位置，使得對位標記200出現在對位鏡頭300的視野范圍內，再將十字形的中心點調整到對位的中心位置，以完成對位。在上述粗對位的過程中對位鏡頭視野范圍很小，通常為1mm×1mm，稍有偏差就會出現對位鏡頭300移動到相應的對位位置后，對位鏡頭300的視野范圍內沒有對位標記200的情況，此時需要讓對位鏡頭300在周圍移動搜索以尋找到對位標記200才能完成定位，造成對位時間增加，生產效率降低。

因此，如何在現有的設備和光學系統不改變(即鏡頭的視野范圍不變)的情況下，增大粗對位標記的可偵測范圍成為了一個厄待解決的問題，特別是在有源有機發光二極管顯示器件(Active Matrix Organic Light Emitting Display，AMOLED)的觸控面板(TouchPanel)的半板制程中，由于基板的位置精度控制困難，使得這個問題更加重要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種對位標記，能增大對位標記的可檢測范圍，減少基板對位時間，提升基板對位效率。

本發明的目的還在于提供一種基板對位方法，能增大對位標記的可檢測范圍，減少基板對位時間，提升基板對位效率。

為實現上述目的，本發明提供了一種對位標記，包括：條狀的主對位標記、以及與所述主對位標記垂直相交的多個條狀的輔助對位標記；

所述多個輔助對位標記沿所述主對位標記的延伸方向間隔排列；

所述多個輔助對位標記包括：一與所述主對位標記的中點垂直相交的第一輔助對位標記、與所述主對位標記垂直相交的至少兩個第二輔助對位標記和至少兩個第三輔助對位標記，所述第二輔助對位標記和第三輔助對位標記分別設置在所述第一輔助對位標記的兩側；

各個第二輔助對位標記的寬度不同，每一個第二輔助對位標記位于所述主對位標記的上方的部分長度均大于其位于所述主對位標記的下方的部分長度；

各個第三輔助對位標記的寬度不同，每一個第三輔助對位標記位于所述主對位標記的上方的部分長度均小于其位于所述主對位標記的下方的部分長度；