[發明專利]一種微測輻射熱計的氧化鈦熱敏薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201710248921.3 | 申請日： | 2017-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN106987814A | 公開（公告）日： | 2017-07-28 |
| 發明（設計）人： | 楊鑫;王宏臣;陳文禮;王鵬;甘先鋒;董珊;孫豐沛 | 申請（專利權）人： | 煙臺睿創微納技術股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 煙臺上禾知識產權代理事務所(普通合伙)37234 | 代理人： | 劉志毅 |
| 地址： | 264006 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 輻射熱 氧化 熱敏 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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