[發(fā)明專利]用于顯微鏡部件的調(diào)節(jié)裝置和用于調(diào)節(jié)顯微鏡部件的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710243842.3
• 申請日: 2017-04-14
• 公開（公告）號: CN108732737A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊俊;陳全康;曼弗雷德·吉爾伯特
• 申請（專利權(quán)）人: 萊卡微系統(tǒng)CMS有限責任公司;徠卡顯微系統(tǒng)（上海）有限公司
• 主分類號: G02B21/26
• 分類號: G02B21/26;G02B21/24
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋融冰

本發(fā)明涉及一種應用在顯微鏡中的用于顯微鏡部件的調(diào)節(jié)裝置(100)以及一種顯微鏡和一種用于調(diào)節(jié)顯微鏡部件的方法，該調(diào)節(jié)裝置具有在引導件(110)中的滑架(120)且具有傳動機構(gòu)(130)，其中，顯微鏡部件(230)可設(shè)置在滑架(120)上，該滑架利用傳動機構(gòu)(130)能夠朝向和逆著重力方向(z)在引導件(110)中移動，該調(diào)節(jié)裝置還具有至少一個彈簧元件(150)，該彈簧元件布置在調(diào)節(jié)裝置(100)中，從而該彈簧元件逆著重力方向?qū)?120)施加力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及應用在顯微鏡中的用于顯微鏡部件(比如載物臺)的調(diào)節(jié)裝置以及用于調(diào)節(jié)這種顯微鏡部件的方法。

背景技術(shù)

在顯微術(shù)中可以采用顯微鏡，其中，把待檢查的物體或樣本放置在所謂的載物臺上，以便借助顯微鏡來檢查它。為了在用顯微鏡觀察時使物體清晰或聚焦，通常使得載物臺在聚焦方向上調(diào)節(jié)，也就是說，往往在z方向上或者朝向或逆著重力方向調(diào)節(jié)。

在使用較重的載物臺的情況下或者在載物臺上使用較重物體的情況下，比如在顯微鏡上檢查晶圓、半導體掩模、LCD屏幕或類似的情況下，會出現(xiàn)如下問題：載物臺僅僅通過在傳動機構(gòu)中作用的摩擦力不能保持在一次性調(diào)節(jié)好的位置上，而是在重力的作用下向下移動。這導致物體從最佳的聚焦位置移動出來，需要重新調(diào)節(jié)。

發(fā)明內(nèi)容

在這種背景下提出如下目的：提供一種可行方案，用來簡單地或持久地調(diào)節(jié)出最佳的聚焦位置，即使采用了較重的載物臺或者檢查較重的物體。

根據(jù)本發(fā)明，提出具有獨立權(quán)利要求的特征的一種用于顯微鏡部件的調(diào)節(jié)裝置、一種顯微鏡以及一種用于調(diào)節(jié)顯微鏡部件的方法。從屬權(quán)利要求以及后續(xù)說明書所述為有利的設(shè)計。

本發(fā)明涉及一種應用在顯微鏡中的用于顯微鏡部件的調(diào)節(jié)裝置。該調(diào)節(jié)裝置具有在引導件中的滑架且具有傳動機構(gòu)，其中，在滑架上可設(shè)置顯微鏡部件，在利用傳動機構(gòu)的情況下，該滑架能夠朝向和逆著重力方向在引導件中移動。這種調(diào)節(jié)裝置也稱為聚焦傳動件或z傳動件，它是一種常見的調(diào)節(jié)裝置，其比如應用于在顯微鏡中作為顯微鏡部件的載物臺。但這里也能夠想到的是，可以借助這種調(diào)節(jié)裝置來使得其它顯微鏡部件比如物鏡移動或調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明，現(xiàn)在設(shè)置至少一個彈簧元件，其布置在調(diào)節(jié)裝置中，從而該彈簧元件逆著重力方向?qū)苁┘恿Α?yōu)選地，至少一個彈簧元件，可以包括彈簧，特別是螺旋彈簧。通過這種彈簧元件，施加在滑架上的由載物臺或另一顯微鏡部件重力產(chǎn)生的作用力被有效地減小了。因而通過這種方式可以實現(xiàn)，在載物臺作為顯微鏡部件的情況下，物體不再并非所愿地從聚焦位置移動掉。這一點尤其適用于這種具有直齒傳動的調(diào)節(jié)裝置。根據(jù)顯微鏡部件的重力大小，這種彈簧元件在此可以經(jīng)過適當?shù)剡x擇，使得其彈簧力抵消或者至少在很大程度上抵消顯微鏡部件的重力。也可行的是，設(shè)置多個尺寸較小的彈簧元件，它們的彈簧力疊加成一個總彈簧力，這個總彈簧力抵消了顯微鏡部件的重力。于是在傳動機構(gòu)中仍然存在的摩擦力足以將顯微鏡部件保持在適當位置。通過在調(diào)節(jié)裝置中，特別是也在滑架內(nèi)部設(shè)置至少一個彈簧元件，還能實現(xiàn)緊湊的且簡單的結(jié)構(gòu)形式。

盡管傳統(tǒng)的調(diào)節(jié)裝置能實現(xiàn)將目標只在或者至少基本上在朝向或者逆著重力方向上調(diào)節(jié)，例如載物臺或其它顯微鏡部件，然而，即使調(diào)節(jié)裝置對于一種移動或移動方向只有一個分量(在向量分解的意義上)朝向或逆著重力方向，本發(fā)明提出的調(diào)節(jié)裝置已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)所希望的效果(移動、聚焦并保持位置不變)。

由這種彈簧元件實現(xiàn)的另一優(yōu)點是，消耗明顯小的力就能調(diào)節(jié)顯微鏡部件。這尤其是在例如采用電動機作為用來操縱傳動機構(gòu)的自動操縱機構(gòu)時也是有利的，因為這種電動機由此能夠被設(shè)計成施加較小的力，因而可以把尺寸設(shè)計得相當小。

優(yōu)選地，至少一個彈簧元件，特別是參照由其施加或提供的力的方向，在重力方向上設(shè)置在調(diào)節(jié)裝置中。因而可以例如沿著重力方向設(shè)置螺旋彈簧。通過這種方式，一方面可以特別節(jié)省空間地將彈簧元件設(shè)置在調(diào)節(jié)裝置中，另一方面可以利用彈簧元件特別好地對滑架施加力。