[發明專利]一種黃光制程光刻機零部件正光阻再生方法有效
| 申請號： | 201710230618.0 | 申請日： | 2017-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN106959591B | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 范銀波 | 申請（專利權）人： | 安徽高芯眾科半導體有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 馬廣旭 |
| 地址： | 247099 安徽省池州市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 黃光制程 光刻 零部件 正光 再生 方法 | ||
【說明書】：
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