[發(fā)明專利]傳送裝置、傳送方法以及真空蒸鍍裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710209599.3
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN108657819B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王震;林治明;黃俊杰;井昱;吳文澤
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;C23C14/24
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 彭久云

1.一種傳送裝置，包括：至少一個第一傳送部件和至少一個第二傳送部件，其中，

所述第一傳送部件包括與被傳送物接觸的第一承載墊，所述第二傳送部件包括與所述被傳送物接觸的第二承載墊；

所述第一承載墊的材料的得電子的能力相對于失電子的能力更強，所述第二承載墊的材料的失電子的能力相對于得電子的能力更強。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送裝置，其中，所述第一承載墊的材料與所述被傳送物相比得電子的能力更強，所述第二承載墊的材料與所述被傳送物相比失電子的能力更強。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳送裝置，其中，當所述第一傳送部件和所述第二傳送部件至少之一為多個時，所述第一傳送部件和所述第二傳送部件彼此相鄰設(shè)置和/或間隔設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳送裝置，其中，所述傳送裝置的全部所述第一承載墊使所述被傳送物獲得的正電荷的電量大小近似等于所述傳送裝置的全部所述第二承載墊使所述被傳送物獲得的負電荷的電量大小。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送裝置，其中，所述第一承載墊使所述被傳送物獲得的正電荷的電量大小近似等于所述第二承載墊使所述被傳送物獲得的負電荷的電量大小。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳送裝置，其中，所述傳送裝置包括多個組合結(jié)構(gòu)，所述第一傳送部件和所述第二傳送部件屬于同一個組合結(jié)構(gòu)或?qū)儆诓煌慕M合結(jié)構(gòu)，所述傳送裝置包括至少一個第一組合結(jié)構(gòu)和至少一個第二組合結(jié)構(gòu)，所述第一組合結(jié)構(gòu)由至少一個所述第一傳送部件組成，所述第二組合結(jié)構(gòu)由至少一個所述第二傳送部件組成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳送裝置，其中，所述第一組合結(jié)構(gòu)和所述第二組合結(jié)構(gòu)彼此相鄰設(shè)置和/或間隔設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求4-7中任一項所述的傳送裝置，其中，當所述被傳送物的材料為玻璃基板時，所述第一承載墊的材料包括膠木或者松香或者聚四氟乙烯或者硫磺中至少之一，所述第二承載墊的材料包括羊皮或者橡膠或者石英中至少之一。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳送裝置，其中，所述第一傳送部件包括第一機械手臂，所述第二傳送部件包括第二機械手臂，所述第一承載墊設(shè)置在所述第一機械手臂上，所述第二承載墊設(shè)置在所述第二機械手臂上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳送裝置，其中，所述第一傳送部件還包括第一傳輸平臺，所述第二傳送部件還包括第二傳輸平臺，所述第一傳輸平臺的上表面的材料和所述第一承載墊的材料具有相同的得失電子的性能；

所述第二傳輸平臺的上表面的材料和所述第二承載墊的材料具有相同的得失電子的性能。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳送裝置，其中，所述第一傳輸平臺的上表面的材料和所述第一承載墊的材料相同或者不同，所述第二傳輸平臺的上表面的材料和所述第二承載墊的材料相同或者不同。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳送裝置，其中，所述第一傳輸平臺和所述第一承載墊使所述被傳送物獲得的正電荷的電量大小近似等于所述第二傳輸平臺和所述第二承載墊使所述被傳送物獲得的負電荷的電量大小。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳送裝置，其中，所述第一傳送部件包括傳輸平臺，所述第二傳送部件包括機械手臂，所述第一承載墊設(shè)置在所述傳輸平臺上，所述第二承載墊設(shè)置在所述機械手臂上。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的傳送裝置，其中，所述第一承載墊使所述被傳送物獲得的正電荷的電量大小近似等于所述第二承載墊使所述被傳送物獲得的負電荷的電量大小。

15.一種真空蒸鍍裝置，包括權(quán)利要求1-14中任一項所述的傳送裝置、真空蒸鍍腔和設(shè)置于所述真空蒸鍍腔中的蒸發(fā)源。