[發(fā)明專利]傳送及保護(hù)晶圓的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710209058.0
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號: CN108666250B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張瑞堂
• 申請（專利權(quán)）人: 奇景光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;鄭特強(qiáng)

1.一種傳送及保護(hù)晶圓的裝置，包含：

一晶圓容器；

多個(gè)晶圓卡匣，設(shè)于該晶圓容器內(nèi)；及

多個(gè)嚙合鎖，用以避免所述多個(gè)晶圓卡匣產(chǎn)生移位，所述多個(gè)嚙合鎖分別直接接觸于所述多個(gè)晶圓卡匣的側(cè)壁，其中該嚙合鎖包含：

一穹面，其內(nèi)表面的垂直方向固設(shè)有長條件；及

一托架，其內(nèi)表面固設(shè)于該穹面的外表面，且該托架的外表面固設(shè)于該晶圓容器的內(nèi)表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該嚙合鎖不接觸于晶圓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中每一該長條件具有單邊或雙邊水平延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該晶圓容器包含一遮罩及一底座，其共同定義出容置晶圓的空間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該遮罩包含透明材質(zhì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該晶圓容器符合標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口規(guī)格。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該晶圓容器符合前開式晶圓傳送盒規(guī)格。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送及保護(hù)晶圓的裝置，其中該晶圓卡匣于遠(yuǎn)端具有開口，使得該晶圓卡匣的遠(yuǎn)端未受阻擋。