[發明專利]遮光膜用感光性樹脂組合物、顯示器用基板及其制造方法有效
| 申請號: | 201710201878.5 | 申請日: | 2017-03-30 |
| 公開(公告)號: | CN107272341B | 公開(公告)日: | 2022-04-01 |
| 發明(設計)人: | 東學 | 申請(專利權)人: | 日鐵化學材料株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/028 | 分類號: | G03F7/028;G02B5/20 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址: | 日本東京千代*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 遮光 感光性 樹脂 組合 顯示 器用 及其 制造 方法 | ||
本發明提供一種遮光膜用感光性樹脂組合物、顯示器用基板及其制造方法,所述組合物適于對耐熱性至多為160℃的塑料基板等形成遮光膜,可獲得耐溶劑性或耐堿性優異的遮光膜。本發明的遮光膜用感光性樹脂組合物含有(A)具有環氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物的結構的含聚合性不飽和基的堿溶性樹脂、(B)具有至少三個乙烯性不飽和鍵的光聚合性單體、(C)肟酯系聚合引發劑、(D)偶氮系聚合引發劑以及(E)選自由黑色有機顏料、混色有機顏料及遮光材料所組成的群組中的一種以上的遮光成分,另外,本發明為將其涂布在基板上,進行曝光、顯影,在160℃以下加熱而形成具備既定圖案的遮光膜的顯示器用基板的制造方法及由此所得的顯示器用基板。
技術領域
本發明涉及一種遮光膜用感光性樹脂組合物、具備使所述遮光膜用感光性樹脂組合物硬化而成的遮光膜的顯示器用基板、及顯示器用基板的制造方法,詳細來說,本發明涉及一種適于在耐熱溫度為160℃以下的基板上形成遮光膜的遮光膜用感光性樹脂組合物、在基板上具備作為所述遮光膜用感光性樹脂組合物的硬化膜的遮光膜的顯示器用基板、及該顯示器用基板的制造方法。
背景技術
近來,以元件的可撓化或單片(one chip)化為目的,例如要求對聚對苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)或聚萘二甲酸乙二酯(Polyethylenenaphthalate,PEN)等塑料基板(塑料膜、樹脂制膜)直接形成遮光膜(遮光圖案),或于在玻璃基板或硅晶片上具備有機電致發光(Electroluminescent,EL)或有機薄膜晶體管(ThinFilm Transistor,TFT)等的元件上直接形成遮光膜。然而,這些情況下塑料基板自身的耐熱溫度或作為元件的耐熱溫度低,通常大多情況下耐熱性至多僅為160℃左右。因此,在塑料基板或元件上形成遮光膜時,在160℃以下的熱煅燒溫度下膜強度變得不充分,在隨后的后續工序(例如各紅綠藍(Red Green Blue,RGB)抗蝕劑涂布或耐堿性等)中,有產生涂膜的膜薄化、表面粗糙、圖案剝離等不良狀況的問題。
因此,例如在日本專利特開2003-15288號公報(專利文獻1)中,公開了一種使用感光性樹脂組合物在塑料基板上進行涂布、曝光、圖案化、150℃熱煅燒而成的基板,所述感光性樹脂組合物是以丙烯酸系共聚物的堿溶性樹脂作為基質,除了光聚合引發劑以外還含有熱聚合引發劑,雖然確保了殘渣、與基板的密接性(剝離測試),但并未記載圖案線寬、顯影容限、可靠性(耐溶劑性、耐堿性)等,這些特性尚不充分。
[現有技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-15288號公報
發明內容
[發明所要解決的問題]
本發明是鑒于所述問題點而成,其目的在于提供一種遮光膜用感光性樹脂組合物,該遮光膜用感光性樹脂組合物適于在耐熱性至多為160℃的塑料基板或元件上形成遮光膜,對于耐熱性低的這些塑料基板或元件等也可獲得耐溶劑性或耐堿性優異的遮光膜。而且,本發明提供一種具備使該遮光膜用感光性樹脂組合物硬化而成的遮光膜的顯示器用基板及其制造方法。
[解決問題的技術手段]
因此,本發明人等人對通過160℃以下的熱硬化而獲得良好的顯影密接性或圖案的直線性、并且可獲得耐溶劑性或耐堿性優異的遮光膜的遮光膜用感光性樹脂組合物進行了努力研究,結果發現,通過含有既定的含聚合性不飽和基的堿溶性樹脂、光聚合性單體、遮光成分及溶劑,并且將兩種特定的聚合引發劑組合,可解決上文所述那樣的課題,從而完成了本發明。
即,本發明的主旨如下。
(1)一種遮光膜用感光性樹脂組合物,含有下述(A)成分~(E)成分作為必需成分,
(A)具有環氧(甲基)丙烯酸酯酸加成物的結構的含聚合性不飽和基的堿溶性樹脂,
(B)具有至少三個乙烯性不飽和鍵的光聚合性單體,
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