[發明專利]多重反射型單元和分析裝置

有效

• 申請號: 201710195847.3
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN107389583B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 赤松武;中嶋嘉之
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場制作所
• 主分類號: G01N21/3504
• 分類號: G01N21/3504;G01N21/01
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 鹿屹;李雪春

本發明提供多重反射型單元，不會使結構復雜化，在減小起因于位置調整機構的無效空間的同時，可以調整到期望的光路長度。所述多重反射型單元(102)具備：形成單元室(2S)的單元主體(2)；安裝在單元主體(2)上、反射面(3x)位于單元室(2S)中的兩個以上的反射構件(31)～(33)；以及相對于單元主體(2)調整反射構件(32)、(33)的位置的位置調整機構(4)。單元主體(2)將單元室(2S)和外部連通，并具有用于安裝反射構件(32)、(33)的安裝部(221)。在安裝在安裝部(221)上的反射構件(32)、(33)與單元主體(2)之間設有將單元室(2S)和單元主體(2)的外部之間封閉的密封構件(7)，利用密封構件(7)將單元室(2S)和單元主體(2)的外部之間封閉。位置調整機構(4)設在單元室(2S)的外部。

技術領域

本發明涉及將入射的光多重反射后向外部射出的多重反射型單元，以及采用多重反射型單元的分析裝置。

背景技術

例如采用FTIR(傅立葉轉換紅外分光)法的測量對象氣體的吸光分析中，為了在減小導入所述測量對象氣體的單元室的單元長度的同時，使通過測量對象氣體的光的光路長度變長，采用具有多個反射面的白光型的多重反射型單元(參照專利文獻1(日本專利公開公報特開平9-101257號)，專利文獻2(日本專利公開公報特開平8-35926號))。

在所述多重反射型單元中，為了得到期望的光路長度，利用止動螺釘或抽芯鉚釘等位置調整機構對具有反射面的反射構件進行精密調整。通常，為簡化單元結構，位置調整機構收容在單元室內。因此，為收容位置調整機構，單元室的內容積需要設計得較大。

可是，用所述多重反射型單元測量測量對象氣體的成分的時間變化等時，要求減小單元室的內容積，盡可能縮短導入的測量對象氣體的置換時間，以提高響應性。

因此專利文獻1的多重反射型單元，通過在單元室內的無效空間中配置模塊件來填充無效空間，減小單元室的內容積。

可是，所述多重反射型單元是減小多重反射的光路的側方(位于垂直于光路的位置的周邊部)的無效空間，并未減小起因于反射構件的位置調整機構的無效空間。此外，需要另外設置模塊件，不僅是結構變得復雜，而且模塊件和單元室內表面之間形成的間隙成為測量試樣氣體所停留的無效空間。而且，起因于位置調整機構的無效空間和設置所述模塊件的結構，妨礙了多重反射型單元的小型化。

按照專利文獻2的多重反射型單元，具有導入試樣的氣體容器以及配置在所述氣體容器的兩側的三個反射構件，具有由氣體容器的窗隔離試樣氣體和反射構件的結構。所述結構可以排除起因于位置調整機構的無效空間。

可是，為減小通過氣體容器的窗時的光的反射，需要設置另外結構(具體布儒斯特窗)。此外，由于試樣氣體和反射構件分開，所以不僅浪費了相應的光路長度，為了得到期望的光路長度而使單元整體大型化。

發明內容

為解決上述問題，本發明的主要課題是，不會使結構復雜化，不僅削減了起因于位置調整機構的無效空間，還能調整到期望的光路長度。

即本發明的多重反射型單元，是將入射的光多重反射后向外部射出的多重反射型單元，其包括：單元主體，形成被導入試樣的單元室；兩個以上的反射構件，安裝在所述單元主體上，反射面位于所述單元室中；以及位置調整機構，相對于所述單元主體調整所述反射構件的位置，所述單元主體將所述單元室和外部連通，并具有用于安裝所述反射構件的安裝部，在安裝在所述安裝部上的反射構件和所述單元主體之間設有密封構件，利用所述密封構件將所述單元室和所述單元主體的外部之間封閉，所述位置調整機構設在所述單元室的外部，所述反射構件呈前端面具有反射面的形狀，所述安裝部具有與所述反射構件的外側周面相對的內側周面，所述密封構件將所述反射構件的外側周面與所述安裝部的內側周面之間氣密密封。