[發(fā)明專(zhuān)利]一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710164693.1
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106908943B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張蓓;趙子琦;劉雨;閆鵬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G02B21/24
• 分類(lèi)號(hào): G02B21/24;G01B7/14;G01C9/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置，包括：兩個(gè)環(huán)形機(jī)械裝置，分別固定于樣品載物臺(tái)、顯微物鏡上；

鏡頭端電極層通過(guò)機(jī)械環(huán)固定于顯微鏡物鏡；帶電極層的機(jī)械環(huán)通過(guò)螺紋通孔固定在樣品載物臺(tái)的基板靠近顯微物鏡的面上，或?qū)㈦姌O層直接固定在絕緣的樣品載物臺(tái)的基板靠近顯微物鏡的面上；

固定在樣品載物臺(tái)上的機(jī)械環(huán)的四個(gè)點(diǎn)引出電極層，其中兩個(gè)點(diǎn)位于機(jī)械環(huán)一條直徑上，另兩個(gè)點(diǎn)位于機(jī)械環(huán)的另一條直徑上，所述的兩條直徑相互垂直，機(jī)械環(huán)的四個(gè)點(diǎn)位上分別鍍絕緣膜，并在絕緣膜上固定電極層，電極層與電阻、電流表、電源串聯(lián)；直接固定在絕緣樣品載物臺(tái)上的電級(jí)層，其中兩個(gè)點(diǎn)位于樣品載物臺(tái)的一條直徑上，另兩個(gè)點(diǎn)位于樣品載物臺(tái)的另一條直徑上，所述的兩條直徑相互垂直，電極層與電阻、電流表、電源串聯(lián)；

固定在顯微物鏡上的機(jī)械環(huán)的四個(gè)點(diǎn)引出電極層，其中兩個(gè)點(diǎn)位于機(jī)械環(huán)一條直徑上，另兩個(gè)點(diǎn)位于另一條直徑上，兩條直徑相互垂直，四個(gè)位置分別鍍上絕緣膜，并在絕緣膜上引出電極層與電源相連，電壓表兩端分別連接固定在樣品載物臺(tái)上的機(jī)械環(huán)的電極層和固定在物鏡上的機(jī)械環(huán)的電極層；

固定在樣品載物臺(tái)上的機(jī)械環(huán)的電極層和固定在顯微物鏡上的機(jī)械環(huán)電極層正對(duì)，形成四組電容。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置，其特征在于，所述電極層為導(dǎo)電體，兩電極層中間充滿(mǎn)均勻分布的電介質(zhì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置，其特征在于，包含電極層的外接電路，所述電源一側(cè)接固定在顯微物鏡上的機(jī)械環(huán)的電極層，另一側(cè)與電流表、電阻以及固定于樣品載物臺(tái)上的機(jī)械環(huán)的電極層串聯(lián)，電壓表兩極分別連接兩個(gè)機(jī)械環(huán)的電極層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置，其特征在于，所述兩個(gè)機(jī)械環(huán)上共有三對(duì)或三對(duì)以上電極層，每對(duì)電極層之間均有權(quán)利要求3中所述的電路。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高精密的顯微鏡樣品實(shí)時(shí)距離及傾斜度測(cè)量裝置，機(jī)械環(huán)的傾斜角度能夠調(diào)節(jié)，使得連接在四對(duì)電極層上的電壓表讀數(shù)接近，電流表讀數(shù)接近。