[發明專利]蒸鍍坩堝及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201710161640.4
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN106868455B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 任曉光
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明提供了一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體及坩堝蓋，所述坩堝本體用于盛放蒸發材料，所述坩堝蓋設于所述坩堝本體上，并與所述坩堝本體相間隔，所述坩堝蓋內設有多個相間隔設置的擋板，所述擋板一端固定于所述坩堝蓋，另一端朝向所述坩堝本體延伸，所述擋板及所述坩堝蓋用于承載所述蒸鍍坩堝中受熱蒸發的所述蒸發材料。本發明還提供了一種蒸鍍裝置。本發明提供的蒸鍍坩堝和蒸鍍裝置可減少坩堝蓋上的沉積材料脫落及防止沉積材料堵塞蒸發源。

技術領域

本發明涉及OLED顯示技術領域，具體涉及一種OLED顯示器件制備工藝中的一種蒸鍍坩堝及蒸鍍裝置。

背景技術

OLED(Organic Light Emitting Display，有機電致發光顯示器件)具有超薄、響應度高、對比度高、功耗低等優勢，近幾年在顯示領域產業化速度突飛猛進。

在OLED材料的蒸鍍過程中，在真空環境下，將OLED材料放置于蓋有坩堝蓋的坩堝中，用電阻絲加熱方式加熱坩堝，使得坩堝中的OLED材料受熱后由固態轉化為熔融態進而蒸發。當OLED材料的蒸發速率達到要求并穩定后，打開坩堝蓋，OLED材料便以穩定的蒸發速率進行蒸鍍。其中，坩堝內的OLED材料在蒸發速率穩定前會在坩堝蓋內表面集結。坩堝蓋上的OLED材料累積到一定厚度后，由于重力作用，會脫離坩堝蓋而落入坩堝中。現有的坩堝蓋為光滑的圓弧蓋面，沉積于坩堝蓋上的OLED材料大多以大尺寸的薄片結構脫離并落入坩堝中，大尺寸沉積材料極易覆蓋蒸發源，使得OLED材料無法蒸發，蒸鍍工藝無法繼續進行，這種情況下，只能開腔清理及重新進行蒸鍍過程，嚴重影響到生產、實驗進度及器件性能。

因此，如何減少坩堝蓋上沉積的蒸發材料脫落至坩堝中，防止堵塞蒸發源，是本領域技術人員亟需解決的技術問題之一。

發明內容

針對以上的問題，本發明的目的是提供一種蒸鍍坩堝及蒸鍍裝置，減少坩堝蓋上沉積的蒸發材料脫落至坩堝中，防止堵塞蒸發源。

為了解決背景技術中存在的問題，本發明提供了一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體及坩堝蓋，所述坩堝本體用于盛放蒸發材料，所述坩堝蓋設于所述坩堝本體上，并與所述坩堝本體相間隔，所述坩堝蓋內設有多個相間隔設置的擋板，所述擋板一端固定于所述坩堝蓋，另一端朝向所述坩堝本體延伸，所述擋板及所述坩堝蓋用于承載所述蒸鍍坩堝中受熱蒸發的所述蒸發材料。

其中，所述坩堝蓋包括蓋面，所述蓋面朝向所述坩堝本體，所述擋板包括安裝部與承載部，所述安裝部可拆卸地固定于所述蓋面，以便于拆卸所述擋板，所述承載部朝向所述坩堝本體方向延伸，用于沉積所述蒸發材料。

其中，所述蓋面為圓弧形，包括中心區域和圍繞所述中心區域的周邊區域，多個所述擋板設于所述周邊區域，且設于所述中心區域的相對兩側。

其中，所述擋板在垂直方向的投影落入所述坩堝本體內。

其中，多個所述擋板沿著所述蓋面的徑向相對設置，且所述承載部朝向所述坩堝本體的延伸方向與所述蓋面的軸向相交；沿著所述蓋面的所述中心區域至所述周邊區域的方向，所述承載部朝向所述坩堝本體的延伸方向與所述蓋面軸向的夾角值逐漸增大。

其中，沿著所述蓋面的所述中心區域至所述周邊區域的方向，所述擋板的所述承載部朝向所述坩堝本體的延伸長度逐漸增加。

其中，所述擋板為弧形板，且所述擋板的承載部沿著所述蓋面的周向延伸，所述擋板與徑向相鄰的所述擋板及夾設于兩者之間的所述蓋面形成溝道，所述溝道沿著所述蓋面的周向延伸。

其中，所述擋板的承載部沿著所述蓋面的徑向延伸，所述擋板與相鄰的所述擋板及夾設于兩者之間的所述蓋面形成溝道，所述溝道沿著所述蓋面的徑向延伸。

本發明還提供了一種蒸鍍裝置，包括上述任一實施方式所述的蒸鍍坩堝。