[發明專利]一種化學濕法減薄黑磷的方法及其應用

有效

• 申請號: 201710156072.9
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN108622866B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 劉晶;范雙青
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: C01B25/02
• 分類號: C01B25/02;C09K13/00;H01L29/267;H01L21/336
• 代理公司: 天津創智天誠知識產權代理事務所(普通合伙) 12214
• 代理人: 王秀奎

1.化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：包括以下步驟：將片狀黑磷浸入減薄溶液中于室溫20-25℃浸泡，所述減薄溶液的溶質為摩爾比為(1-50)：(1-50)的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳，溶劑為二氯甲烷溶液，浸泡5min-7h后，取出樣品、洗滌干燥。

2.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述片狀黑磷由塊狀黑磷通過機械剝離或超聲、機械攪拌的方式分解而成。

3.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述浸泡時間為30-100min。

4.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述洗滌溶劑為二氯甲烷或異丙醇。

5.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述干燥作業采用氮氣槍吹掃完成。

6.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述減薄溶液為等摩爾比的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳的二氯甲烷溶液。

7.根據權利要求1所述的化學濕法減薄黑磷的方法，其特征在于：所述減薄溶液的溶質為10mmol的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和10mmol的三苯基四氟硼酸碳，所述減薄溶液的溶劑為2mL二氯甲烷。

8.如權利要求1-7中任一項的減薄黑磷的方法在制備晶體管上的應用，其特征在于：制得的晶體管的開關比為10⁶，亞閾值擺幅為450mV/decade，源漏電壓差在-40mV-40mV范圍內，源漏電流隨源漏電壓成線性變化，且高度對稱。

9.一種減薄溶液在減薄黑磷上的應用，其特征在于：所述減薄溶液的溶質為摩爾比為(1-50)：(1-50)的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳，溶劑為二氯甲烷溶液。

10.根據權利要求9所述的一種減薄溶液在減薄黑磷上的應用，其特征在于：減薄溶液的溶質為等摩爾比的2,2,6,6-四甲基哌啶氧化物和三苯基四氟硼酸碳。