[發明專利]一種優化鈣鈦礦晶體薄膜形貌的方法有效
| 申請號： | 201710142615.1 | 申請日： | 2017-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN107068875B | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | 謝國華;易建鵬;薛欽 | 申請（專利權）人： | 武漢大學 |
| 主分類號： | H01L51/48 | 分類號： | H01L51/48;H01L51/44 |
| 代理公司： | 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 汪俊鋒 |
| 地址： | 430072 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 優化 鈣鈦礦 晶體 薄膜 形貌 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種優化鈣鈦礦晶體薄膜形貌的方法，其特征在于：
將碘化鉛和甲胺碘合成的有機-無機雜化鈣鈦礦晶體薄膜置于密閉的有機溶劑的蒸汽氛圍內，進行差熱退火處理，所述蒸汽的溫度為100℃，鈣鈦礦晶體薄膜的溫度比蒸汽溫度低10~50℃。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，退火采用的裝置包括金屬密閉腔體(1)和腔體密封蓋(2)，金屬密閉腔體的底部放置用于調控溫差的襯底(3)，用于退火的鈣鈦礦晶體薄膜(5)置于玻璃片之上。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機溶劑(4)為N,N-二甲基甲酰胺、二甲亞砜、γ-丁內酯、甲胺或乙腈中的一種或幾種。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，退火時間為0.1-1小時。
5.根據權利要求2所述的方法，襯底（3）是石英玻璃、藍寶石、硅片、云母或不銹鋼。
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H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
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