[發明專利]不良檢測方法

有效

• 申請號: 201710134157.7
• 申請日: 2017-03-08
• 公開（公告）號: CN107186900B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 新井賢;吉田干;內田正喜
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/02;B28D7/00;B28D7/04;G01F23/22;G01R27/22
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

提供不良檢測方法，能夠適當地判定出添加劑的注入不良。一種不良檢測方法，對加工液提供裝置(40)中的添加劑的注入不良進行檢測，該不良檢測方法包含如下的步驟：濃度設定步驟，對加工液中的添加劑的濃度進行設定；添加量計算步驟，根據通過濃度設定步驟設定的添加劑的濃度和由流量計(44)測量出的液體的流量對添加劑的添加量進行計算；移送泵工作判別步驟，當按照通過添加量計算步驟計算出的添加量向液體添加添加劑時，對移送泵(64a，64b)的工作時間是否適當進行判別；以及判定步驟，當通過移送泵工作判別步驟判別為移送泵的工作時間不適當的情況下，判定為添加劑的注入不良。

技術領域

本發明涉及不良檢測方法，對添加劑向加工液的注入不良進行檢測。

背景技術

為了防止以半導體晶片為代表的被加工物的靜電破壞和加工時產生的屑(加工屑)等附著在被加工物上，有時使用注入而混合了防靜電用的添加劑的加工液來對被加工物進行加工。例如，通過加工液提供裝置來進行添加劑向加工液的注入(例如，參照專利文獻1)。

但是，在該加工液提供裝置中，有時因作為添加劑的流路的配管(管)發生彎曲或者空氣或粉塵等異物侵入到流路內而不能向加工液注入所需的分量的添加劑。因此，也研究了對加工液的導電率、電阻率等進行測量并根據該值來判定是否已注入了適當的分量的添加劑的方法等。

專利文獻1：日本特開2007-222963號公報

但是，在上述的方法中，當對導電率、電阻率等進行測量的測量器中存在異常時，例如，存在如下的可能性：即使沒有注入適當的分量的添加劑也誤判定為已注入了適當的分量的添加劑。

發明內容

本發明是鑒于該問題點而完成的，其目的在于提供一種不良檢測方法，能夠適當地判定出添加劑的注入不良。

根據本發明的一方式，提供不良檢測方法，在加工液提供裝置中對添加劑的注入不良進行檢測，該加工液提供裝置具有：流量計，其一端與液體提供源連接，另一端配設在與加工裝置連接的流路上，該流量計對該流路中流動的液體的流量進行測量；添加劑容器，其收納向該液體中添加的添加劑；貯存容器，其對從該添加劑容器提供的添加劑進行貯存；移送泵，其將該添加劑從該添加劑容器移送至該貯存容器，以便成為在該貯存容器中總是貯存有規定的量的該添加劑的狀態；注入泵，其將該貯存容器的該添加劑注入到該流路的比該流量計靠下游側的位置；以及測量器，其對將該添加劑注入到該液體中而生成的加工液的導電率或電阻率進行測量，該不良檢測方法的特征在于，具有如下的步驟：濃度設定步驟，對該加工液中的該添加劑的濃度進行設定；添加量計算步驟，根據通過該濃度設定步驟設定的該添加劑的濃度和由該流量計測量出的該液體的流量對該添加劑的添加量進行計算；移送泵工作判別步驟，當按照通過該添加量計算步驟計算出的添加量向該液體添加該添加劑時，對移送泵的工作時間是否適當進行判別；以及判定步驟，當通過該移送泵工作判別步驟判別為該移送泵的工作時間不適當的情況下，判定為該添加劑的注入不良。

在本發明的一方式中，優選還具有如下的警告步驟：當通過該判定步驟判定為該添加劑的注入不良的情況下，發出警告。

并且，在本發明的一方式中，優選還具有如下的加工裝置停止步驟：當通過該判定步驟判定為該添加劑的注入不良的情況下，發出使該加工裝置的運轉停止的停止信號而使該加工裝置的運轉停止。

在本發明的一方式的不良檢測方法中，在按照規定的添加量添加添加劑時，對移送泵的工作時間是否適當進行判別，并根據該結果對是否適當地注入了添加劑進行判定，因此即使在對加工液的導電率、電阻率等進行測量的測量器中存在異常的情況下等，也能夠適當地判定出添加劑的注入不良。

附圖說明

圖1是示意性地示出并列設置有加工液提供裝置的切削裝置的結構例的立體圖。

圖2是示意性地示出加工液提供裝置等的結構例的圖。

標號說明