[發明專利]一種抗光衰爐

有效

• 申請號: 201710131975.1
• 申請日: 2017-03-07
• 公開（公告）號: CN107046081B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 蘇金財;王軍濤;何鳳濤
• 申請（專利權）人: 東莞市科隆威自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 深圳市智圈知識產權代理事務所(普通合伙) 44351
• 代理人: 韓紹君

1.一種抗光衰爐，其特征在于，包括爐支架和多個恒流源，所述爐支架上設有循環輸送硅片的輸送裝置，所述爐支架沿所述輸送裝置入料端至出料端依次設有預熱區、光照區和冷卻區，所述光照區的正上方設有若干組并排設置的LED燈光照模組，每組所述LED燈光照模組由多個具有水冷作用的LED燈條組成，每個所述LED燈條均由一個所述恒流源獨立控制；

多個恒流源同時架設在一個恒流源支架上，LED燈光照模組具有若干大組，每個大組設有若干個小組LED燈光照模組，每個小組LED燈光照模組設有若干個LED燈條；

所述爐支架上設有總循環水管進和總循環水管出，每組所述LED燈光照模組由四個具有水冷作用的LED燈條組成，四個LED燈條上均設有進水口和出水口，四個LED燈條的進水口和出水口依次連通，一個LED燈條的進水口連通總循環水管進，一個LED燈條的出水口連通總循環水管出；

所述LED燈條包括LED燈散熱水箱，該LED燈散熱水箱中的LED燈的電流電壓由恒流源調節控制，所述LED燈散熱水箱的正面一端設有用于連接正電極座的正電極安裝孔，所述LED燈散熱水箱的正面另一端設有用于連接負電極座的負電極安裝孔，所述正電極座連接所述恒流源的正電極，所述負電極座連接所述恒流源的負電極，所述LED燈散熱水箱的正面采用液態金屬焊接的方式連接有一金屬電路板，所述金屬電路板的表面裝有測溫探頭，所述測溫探頭與所述恒流源電連接，所述LED燈散熱水箱的背面設有進水口和出水口，所述金屬電路板的表面間隔設有若干個LED芯片。

2.根據權利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述爐支架位于所述光照區的位置設有爐腔，所述爐腔的空腔內側壁上間隔設有多個風孔，所述爐腔的下腔設有輔助加熱裝置，所述爐腔的正上方與所述LED燈光照模組之間采用透光的隔板隔開。

3.根據權利要求2所述的抗光衰爐，其特征在于，所述輸送裝置包括設置在爐支架左右兩端的滾筒，其中一個所述滾筒由電機驅動，兩個所述滾筒采用金屬網狀輸送帶連接，所述金屬網狀輸送帶帶動硅片依次經過預熱區、光照區和冷卻區，硅片經過所述預熱區時的預熱溫度在200℃～500℃，硅片經過所述光照區時，所述LED燈光照模組對硅片進行光照處理，所述爐腔的溫度降低到一定程度時，所述輔助加熱裝置對爐腔進行輔助加熱。

4.根據權利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述LED燈散熱水箱的空腔內對應所述LED燈散熱水箱的背面一側間隔設有多片散熱翅片，每片所述散熱翅片沿所述LED燈散熱水箱的長度方向上延伸、并與所述LED燈散熱水箱的空腔長度相同。

5.根據權利要求4所述的抗光衰爐，其特征在于，每片所述散熱翅片的高度相同，所述散熱翅片的高度小于所述LED燈散熱水箱的空腔的高度，所述LED燈散熱水箱的兩端分別設有用于連接L形支架的支架連接孔，所述LED燈散熱水箱為鋁構件，所述金屬電路板為銅構件。

6.根據權利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述恒流源內設有核心電路板、前整流板、后整流板、電源板、風扇電源板、接口板、驅動板和控制面板，所述前整流板、后整流板、電源板、風扇電源板、接口板、驅動板和控制面板均與所述核心電路板連接，所述電源板輸入220V交流電壓經過前整流板整流成310V直流電、并輸出至LC串聯諧振逆變電路轉換成20KHZ交流電，再經過電感和電解電容轉換成直流電輸出。

7.根據權利要求6所述的抗光衰爐，其特征在于，所述控制面板上設有溫度顯示器、電壓顯示器、電流顯示器、功率顯示器、用于調節電壓的電壓調節器和用于調節電流的電流調節器，所述控制面板上還設有電源開關；所述恒流源內還設有兩個鋁散熱片、三個風扇、變壓器、電感、兩個交流電源，三個風扇均連接風扇電源板；所述恒流源外殼側面和正面均設有散熱網孔，所述恒流源外殼的正面兩端分別設有多個U形卡扣和腰形安裝孔；所述核心板由TMS320F28335、LC4064V核心芯片構成，通過TMS320F28335芯片的SPWM功能,實現全橋型零電壓開關PWM控制，其中SPWM功能是在PWM的基礎上改變了調制脈沖方式，脈沖寬度時間占空比按正弦規律排列，輸出波形經過適當的濾波以正弦波輸出。

8.根據權利要求2所述的抗光衰爐，其特征在于，所述爐支架的后側間隔設有多個用于帶走所述爐腔熱量的爐腔散熱風機，所述爐支架的上端間隔設有多個上散熱風機；所述爐支架的前側設有控制電箱；所述預熱區上設有上預熱爐和下預熱爐，所述上預熱爐和下預熱爐上均間隔設有多個加熱燈管，所述上預熱爐和下預熱爐之間具有供金屬網狀輸送帶通過的通道，所述上預熱爐和所述下預熱爐上均設有至少一個感溫探頭；所述冷卻區上間隔設有多個向下吹風的散熱風扇和向下吸風的風機裝置。