[發(fā)明專利]用于確定樣品高度信息的方法以及掃描顯微鏡

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710131546.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN107167084A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯姆斯·卡爾克布雷納;赫爾穆特·利珀特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;G01B11/25;G01B9/04
• 代理公司: 上海和躍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31239
• 代理人: 尹洪波

1.一種用于確定樣品高度信息的方法，包括以下步驟：

-生成照明點(diǎn)；

-使用所述照明點(diǎn)照射所述樣品；

-捕獲所述照明點(diǎn)在所述樣品上的反射圖像；

-評(píng)估所述圖像的橫向分布；

-根據(jù)所述橫向分布確定所述高度信息；

其中，所述照明點(diǎn)具有三維照明圖案以及/或者探測(cè)光路中的所述圖像具有三維探測(cè)圖案。

2.如權(quán)利要求1中所述的方法，特征在于所述照明圖案和/或所述探測(cè)圖案具有沿光學(xué)軸不對(duì)稱的所述橫向強(qiáng)度分布中的變化，其中所述光學(xué)軸平行于與放置所述樣品的樣品平面正交的平面延伸。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，特征在于相位分布被用于生成所述照明圖案和/或探測(cè)圖案。

4.如權(quán)利要求3中所述的方法，特征在于所述相位分布為線性的。

5.如權(quán)利要求1-4中任一所述的方法，特征在于所述圖像的強(qiáng)度信息被進(jìn)一步確定。

6.如權(quán)利要求1-5中任一所述的方法，特征在于所述照明圖案通過使用有旋轉(zhuǎn)強(qiáng)度分布的激光束來生成。

7.如權(quán)利要求1-5中任一所述的方法，特征在于將多個(gè)照明點(diǎn)同時(shí)掃描在所述樣品平面上。

8.一種掃描顯微鏡，包括：

-照明裝置(07)，其用于用照明點(diǎn)照射樣品；

-掃描裝置(09)，其用于在所述樣品上掃描所述照明點(diǎn)；

-探測(cè)器裝置(16)，其用于由所述樣品反射的所述照明點(diǎn)的空間分辨探測(cè)；

-評(píng)估裝置，其用于評(píng)估所述探測(cè)器裝置(16)的信號(hào)；

特征在于：

-所述照明裝置(07)和/或探測(cè)器裝置包括用于生成三維圖案的器件，所述三維圖案具有沿光學(xué)軸不對(duì)稱的橫向強(qiáng)度分布中的變化；且

-所述評(píng)估裝置配置成根據(jù)所述探測(cè)器裝置的信號(hào)確定高度信息。

9.如權(quán)利要求8中所述的掃描顯微鏡，特征在于所述用于生成所述三維圖案的器件是相位元件(17)。

10.如權(quán)利要求9中所述的掃描顯微鏡，特征在于所述相位元件(17)包括玻璃楔，所述玻璃楔設(shè)置在所述掃描顯微鏡的瞳平面中，且覆蓋所述照明點(diǎn)和/或圖像的至少一部分。

11.如權(quán)利要求10中所述的掃描顯微鏡，特征在于所述玻璃楔為第一玻璃楔且所述相位元件(17)包括第二玻璃楔，其中所述第一玻璃楔和所述第二玻璃楔呈相反的方向設(shè)置且各自覆蓋所述照明圖案的一半。

12.如權(quán)利要求8中所述的掃描顯微鏡，特征在于所述用于生成照明圖案的器件是有旋轉(zhuǎn)強(qiáng)度分布的激光束。

13.如權(quán)利要求8-12中任一所述的掃描顯微鏡，特征在于所述探測(cè)器裝置(16)是象限光電二極管。