[發(fā)明專利]龍門定位平臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710130840.3
• 申請日: 2017-03-07
• 公開（公告）號: CN106896540A
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢美燕
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州海摩鑫智能裝備有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及龍門定位平臺，可用于電子行業(yè)，主要用于大型平面構(gòu)造物的整體或者局部處理，包括液晶面板的切割、液晶面板的修復(fù)、液晶面板的缺陷檢查、半導(dǎo)體裝置的缺陷檢查。

背景技術(shù)

液晶屏10.5代生產(chǎn)用移動平臺是10.5代面板產(chǎn)線的重要組成部分，以液晶生產(chǎn)水平為標(biāo)準(zhǔn)的電子行業(yè)的發(fā)達(dá)程度是衡量一個國家科技實(shí)力的重要指標(biāo)。

世界的液晶產(chǎn)業(yè)經(jīng)過20年的蓬勃發(fā)展，已經(jīng)從當(dāng)初的2代產(chǎn)業(yè)發(fā)展到現(xiàn)在的10代產(chǎn)線，生產(chǎn)的效率和品質(zhì)大大提高。經(jīng)過市場調(diào)查，目前我國的產(chǎn)業(yè)基本處在5代產(chǎn)線到8代產(chǎn)線之間，效率和單位生產(chǎn)成本遠(yuǎn)低于10代產(chǎn)線，根據(jù)我國政府設(shè)備制造2025綱要的部署，到2025我國的液晶行業(yè)要全面進(jìn)入10G時代。開發(fā)穩(wěn)定性好、達(dá)到電子行業(yè)生產(chǎn)要求的經(jīng)濟(jì)型的移動定位平臺有很好的實(shí)用價值。

電子行業(yè)需要用到特大型的定位平臺(尺寸為4000mm×4000mm)，而定位到1微米以內(nèi)主要的技術(shù)難點(diǎn)在于：

1、采用傳統(tǒng)的大理石結(jié)構(gòu)，成本較高，且運(yùn)輸不方便，且交貨期較長，同時對安裝和使用的環(huán)境要求較高。

2、面積越大，控制補(bǔ)償?shù)碾y度越大，無法實(shí)現(xiàn)精密控制。

3、兩根Y軸無法實(shí)現(xiàn)真正的同步

4、X軸在兩邊位置和中間位置的變形發(fā)生量不一致，導(dǎo)致整個X軸的位置控制產(chǎn)生偏差無法實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種龍門定位平臺，其定位精度高，工作運(yùn)行速度快。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種龍門定位平臺，包括：大理石平臺，設(shè)置在大理石平臺上的龍門架，設(shè)置在龍門架上的工作頭，控制龍門架在Y軸方向平移的Y軸移動定位機(jī)構(gòu)，以及控制工作頭在X軸方向平移的X軸移動定位機(jī)構(gòu)；

所述X軸移動定位機(jī)構(gòu)包括：設(shè)于龍門架上且支承工作頭的X軸方向直線導(dǎo)軌，驅(qū)動工作頭沿該X軸方向直線導(dǎo)軌移動的X軸方向線性馬達(dá)；

所述Y軸移動定位機(jī)構(gòu)包括：分設(shè)在大理石平臺兩側(cè)邊且支承龍門架的一對Y軸方向直線導(dǎo)軌，驅(qū)動龍門架沿該對Y軸方向直線導(dǎo)軌移動的Y軸方向線性馬達(dá)；

所述大理石平臺配有吸震地腳。

優(yōu)選的，所述X軸移動定位機(jī)構(gòu)還包括：用于檢測工作頭在X軸方向移動位置的X軸方向光柵傳感器。

優(yōu)選的，所述Y軸移動定位機(jī)構(gòu)還包括：用于檢測龍門架在Y軸方向移動位置的Y軸方向光柵傳感器。

優(yōu)選的，所述大理石平臺的尺寸為4000mm×4000mm。

優(yōu)選的，所述X軸方向直線導(dǎo)軌的長度為3300mm，X軸方向直線導(dǎo)軌的有效負(fù)載大于50kg。

優(yōu)選的，所述Y軸方向直線導(dǎo)軌的長度為3600mm，Y軸方向直線導(dǎo)軌的有效負(fù)載大于60kg。

優(yōu)選的，所述X軸方向線性馬達(dá)為無鐵芯線性馬達(dá)。

優(yōu)選的，所述Y軸方向線性馬達(dá)為鐵芯線性馬達(dá)。

優(yōu)選的，所述龍門定位平臺，其最大的重復(fù)定位精度為±2μm,最大的工作運(yùn)行速度為3米每秒。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：提供一種龍門定位平臺，其定位精度高，工作運(yùn)行速度快。

本發(fā)明移動平臺配置可以廣泛用于FPD 5代到10代的面板生產(chǎn)，適合目前主流各種尺寸，特別提出的是G10.5代移動平臺是和日本夏普并駕齊驅(qū)的最大規(guī)格尺寸，適合需要納米級精度和高速度的檢查及修復(fù)設(shè)備。最大的重復(fù)定位精度是±2μm,最大的工作運(yùn)行速度是3米每秒，能有效提高產(chǎn)品的生產(chǎn)率，降低企業(yè)的原單位成本。

液晶平臺構(gòu)成：X-軸長度為:3300mm有效負(fù)載大于50kg材料:特制工藝鋁型材，動力源采用無鐵芯線性馬達(dá)，Y-軸長度為:3600mm有效負(fù)載大于60kg,動力源采用鐵芯線性馬達(dá)，平臺選用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南大理石作為平面，吸震地腳選用德國的產(chǎn)品。

目前國際上龍門移動平臺的市場競爭集中在高速、穩(wěn)定、精度的這三個方面，特別是在高速長距離的精密控制定位作業(yè)，尚未有一套合理的控制技術(shù)。

本發(fā)明針對此背景，提供下關(guān)鍵技術(shù)：

1.高剛度、高速度以及節(jié)能的機(jī)械結(jié)構(gòu)。

2.高速度、高精度以及節(jié)能的控制系統(tǒng)。

3.針對接觸作業(yè)的控制技術(shù)的建立。

本發(fā)明還實(shí)現(xiàn)以下創(chuàng)新點(diǎn)：

1.重復(fù)操作精度±2μm，世界最高精度。

2.最大運(yùn)動速度1500mm/s，國內(nèi)同類產(chǎn)品近兩倍，國際行業(yè)的最高速度。