[發明專利]一種磁光表面等離子體共振傳感器在審
| 申請號： | 201710122592.8 | 申請日： | 2017-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN106950198A | 公開（公告）日： | 2017-07-14 |
| 發明（設計）人： | 畢磊;劉傳 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N21/552 | 分類號： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心51203 | 代理人： | 閆樹平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 等離子體 共振 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁光表面等離子體共振傳感器，其特征在于：所述器件結構中磁性材料薄膜為鐵鈷合金FexCo1-x薄膜，其中0＜x＜1。
2.如權利要求1所述磁光表面等離子體共振傳感器，其特征在于：
所述結構由下至上依次包括襯底基片、下層貴金屬薄膜、磁性材料薄膜和上層貴金屬薄膜；下層貴金屬薄膜厚度為0～60nm，鐵鈷合金FexCo1-x薄膜厚度5～30nm，上層貴金屬薄膜為20～60nm；所述下層貴金屬薄膜厚度為0nm時整個器件為兩層結構，不為0nm是三層結構。
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