[發明專利]真空吸附單元和真空吸附載臺

有效

• 申請號: 201710113401.1
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN106826624B
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 鄭漢博;李麗;閆俊偉;馮長海
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;H05K3/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本發明公開了一種真空吸附單元和真空吸附載臺，真空吸附單元包括：內部限定出氣路通孔的外殼，氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；可移動地設在氣路通孔內的活塞，活塞的外周壁與氣路通孔的內周壁滑動配合；兩端分別止抵在外殼和活塞上的彈性件；與氣路通孔連通的泄壓通道，泄壓通道被構造成僅在活塞移動至止抵在下止抵面時泄壓通道被關閉。本發明的真空吸附單元，可根據氣路通孔的用于吸附的一端是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉未被覆蓋的氣路通孔的用于吸附的一端的目的。

技術領域

本發明涉及真空吸附領域，尤其涉及一種真空吸附單元和真空吸附載臺。

背景技術

近年來相關技術的真空吸附載臺吸附的基板尺寸趨于多樣化，為了應對不同尺寸的基板，通常情況下采用粘貼膠帶的方式來關閉基板載臺上暫時不用的真空吸槽，從而給關閉真空吸槽的操作帶來不便并且浪費人力。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出一種真空吸附單元，可根據氣路通孔的用于吸附的一端是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉未被覆蓋的氣路通孔的用于吸附的一端的目的。

本發明還提出一種真空吸附載臺，包括上述的真空吸附單元。

根據本發明實施例的真空吸附單元，可應用于真空吸附載臺，已知真空吸附載臺包括基板載臺，基板載臺上設有真空吸槽。真空吸附單元包括：外殼，所述外殼內限定出氣路通孔，所述氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移動地設在所述氣路通孔內且位于所述上止抵面和所述下止抵面之間，所述活塞的外周壁與所述氣路通孔的內周壁滑動配合；彈性件，所述彈性件的兩端分別止抵在所述外殼和所述活塞上以常驅動所述活塞止抵在所述上止抵面上；與所述氣路通孔連通的泄壓通道，所述泄壓通道被構造成在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述泄壓通道被關閉。可以理解的是，氣路通孔的兩端分別與真空吸槽和真空管路相連通以實現真空吸附單元的吸附工作。

根據本發明實施例的真空吸附單元，通過在氣路通孔內設置可移動的活塞，并且設置與氣路通孔連通的泄壓通道，泄壓通道被構造成在活塞移動至止抵在下止抵面時泄壓通道被關閉，從而可根據真空吸槽是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉基板載臺上的未被覆蓋的真空吸槽的目的。

可選地，所述泄壓通道設在所述活塞上，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述下止抵面封堵所述泄壓通道。從而使泄壓通道的結構簡單，能夠降低真空吸附單元的制造成本。

可選地，所述泄壓通道設在所述外殼內，所述泄壓通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄壓通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述活塞的側壁封堵所述泄壓通道的下端以關閉泄壓通道。從而使泄壓通道的結構更加穩定，泄壓作用更加可靠。

根據本發明的一些地實施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設在所述氣路通孔的內壁上，所述止擋件內設有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設在所述止擋件的下表面上，所述彈性件設在所述活塞的下方且所述彈性件的下端穿過所述貫通孔止抵在所述墊片上。從而使真空吸附單元的結構簡單、可靠。

根據本發明的又一些實施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設在所述氣路通孔的內壁上，所述止擋件內設有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設在所述筒體的內壁上且位于所述止擋件的上方，所述彈性件位于所述活塞的上方且所述彈性件的上下兩端分別與所述墊片和所述活塞相連。