[發明專利]測量方法

有效

• 申請號: 201710088418.6
• 申請日: 2017-02-17
• 公開（公告）號: CN107121058B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 酒井裕志;渡邊裕;高濱康弘;伊藤明正;工藤雄治
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/24
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邸萬奎

1.一種測量方法，對有彎曲形狀的目標物體測量距測量頭的距離而測量所述目標物體的表面，其特征在于，包括以下步驟：

設定所述目標物體的測量范圍和凹凸的閾值的步驟；

獲取包含所述目標物體的彎曲形狀的形狀基準數據的步驟；

測量在所述測量范圍中的所述目標物體和所述測量頭之間的距離，獲取所述目標物體的表面的三維數據的步驟；

從所述三維數據除去所述形狀基準數據而獲取彎曲除去數據的步驟；

基于所述彎曲除去數據求第1基準數據，求將對于所述第1基準數據超過所述閾值的數據從所述彎曲除去數據除外進行平均的第2基準數據的步驟；以及

從所述彎曲除去數據提取對于所述第2基準數據超過所述閾值的數據，求凹凸的形狀數據的步驟，

其中，基于包含在目標物體的凹面或凸面中的每個數據點的深度信息來執行數據的除去。

2.如權利要求1所述的測量方法，還包括：

使用將對于所述第2基準數據超過所述閾值的數據從所述彎曲除去數據除外后的數據，求所述目標物體的表面粗糙度的步驟。

3.如權利要求1或2所述的測量方法，

所述凹凸的形狀數據包含所述凹凸的面積、面積率、體積、開口的最大值、開口的最小值和開口的平均值的至少一個。

4.如權利要求1或2所述的測量方法，

所述目標物體的表面是圓筒、圓錐、橢圓筒和橢圓錐之中的其中一個的內面。

5.如權利要求1或2所述的測量方法，

所述測量頭通過光干涉法測量所述距離。