[發明專利]OLED器件及其制作方法在審
| 申請號: | 201710081898.3 | 申請日: | 2017-02-15 |
| 公開(公告)號: | CN106654070A | 公開(公告)日: | 2017-05-10 |
| 發明(設計)人: | 裴磊;遲明明 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/50 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黃威 |
| 地址: | 430079 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | oled 器件 及其 制作方法 | ||
技術領域
本發明涉及顯示器技術領域,特別是涉及一種OLED器件及其制作方法。
背景技術
隨著OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機發光顯示)技術的發展,用戶對OLED色彩和灰度的顯示要求越來越高。
目前通過RGB side-by-side制作的全彩AMOLED的過程中,先用Common Mask(CM)形成HIL(空穴注入)層和HTL(空穴傳輸)層,再形成EML(發光)層,最后形成ETL(電子傳輸)層、EIL(電子注入)層和透明陰極。對于用CM制備HIL和HTL層的器件在高灰階顯示時,各子像素的驅動電流較高,電阻較小,空穴在子像素間的竄擾電阻極大,因此竄擾電流可忽略不計。
然而,在低灰階顯示時,各子像素的驅動電流極低,隨著電流的減小二極管的等效電阻急劇增大,即在低灰階顯示時,RR、RG和RB數值極大,與空穴的竄擾電阻約在同一量級。另外受材料特性影響,藍光子像素驅動電壓比紅綠子像素高,所以RB大于RR和RG。由于EML層共用HIL層和HTL層,于是RBR和RBG會對RB形成分流作用,即藍光子像素下的空穴會竄流至紅綠子像素,導致OLED顯示存在色偏。
因此,現有技術存在缺陷,急需改進。
發明內容
本發明的目的在于提供一種改進的OLED器件及其制作方法。
為解決上述問題,本發明提供的技術方案如下:
本發明提供一種OLED器件的制作方法,包括以下步驟:
提供一基板,在所述基板上形成第一電極層;
在所述第一電極層上形成第一有機層,對所述第一有機層進行圖形化處理,從而形成第一有機島狀圖案、第二有機島狀圖案以及第三有機島狀圖案,相鄰的有機島狀圖案相互之間存在間隔,間隔處露出第一電極層;
在所述第一有機島狀圖案上形成紅光發光層,在所述第二有機島狀圖案上形成藍光發光層,以及在所述第三有機島狀圖案上形成綠光發光層;
在發光層上依次形成第二有機層以及第二電極層。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一有機島狀圖案、所述第二有機島狀圖案以及所述第三有機島狀圖案相互之間等間隔設置,間隔距離為1μm~15μm。
本發明所述的OLED器件的制作方法中,對所述第一有機層進行圖形化處理,從而形成第一有機島狀圖案、第二有機島狀圖案以及第三有機島狀圖案的步驟包括:
在所述第一有機層上涂布光阻;
對涂布光阻后的第一有機層進行曝光、顯影、刻蝕,從而形成第一有機島狀圖案、第二有機島狀圖案以及第三有機島狀圖案。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一有機層包括空穴注入層和空穴傳輸層;在第一電極層上形成第一有機層的步驟包括:
在所述第一電極層上形成空穴注入層;
在所述空穴注入層上形成空穴傳輸層。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,所述第二有機層包括電子注入層和電子傳輸層;在所述第一電極層和所述發光層上依次形成第二有機層以及第二電極層的步驟包括:
在所述第一電極層和所述發光層上形成電子傳輸入層;
在所述電子傳輸層上形成電子注入層;
在所述電子注入層上形成第二電極層。
本發明所述的OLED器件的制作方法中,在所述第一有機島狀圖案上形成紅光發光層,在所述第二有機島狀圖案上形成藍光發光層,在所述第三有機島狀圖案上形成綠光發光層的步驟包括:
利用高精度金屬掩膜版在所述第一有機島狀圖案上形成紅光發光層,在所述第二有機島狀圖案上形成藍光發光層,在所述第三有機島狀圖案上形成綠光發光層。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,在第一電極層上形成第一有機層的步驟包括:
采用真空蒸鍍工藝在第一電極層上形成第一有機層。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,在所述基板所述發光層上依次形成第二有機層以及第二電極層的步驟包括:
采用真空蒸鍍工藝在所述第一電極層和所述發光層上依次形成第二有機層以及第二電極層。
在本發明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一電極層為ITO或IZO。
本發明提供一種OLED器件,包括:
基板;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





