[發明專利]一種防水耐電擊穿涂層的制備方法

在審

• 申請號: 201710049269.2
• 申請日: 2017-01-23
• 公開（公告）號: CN107058979A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 宗堅
• 申請（專利權）人: 江蘇菲沃泰納米科技有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;C23C16/517;C23C16/448;C09D4/02
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 梅洪玉

1.一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)將基材置于等離子體室的反應腔體內，對反應腔體連續抽真空，將反應腔體內的真空度抽到10-200毫托，通入惰性氣體或氮氣；

(2)通入單體蒸汽到真空度為30-300毫托，開啟等離子體放電，進行化學氣相沉積，在基材表面制備防水耐電擊穿涂層；

所述單體蒸汽成分為：

至少一種單官能度不飽和氟碳樹脂和至少一種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，所述單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質量分數為30-50％；

(3)停止等離子體放電，停止通入單體蒸汽，持續抽真空，保持反應腔體真空度為10-200毫托1-5min后通入大氣至一個大氣壓，然后取出基材即可；

所述單官能度不飽和氟碳樹脂包括：

3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯、1H,1H,2H,2H-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2H-全氟丙基)-2-丙烯酸酯、(全氟環己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔、1-乙炔基-3,5-二氟苯或4-乙炔基三氟甲苯；

所述多官能度不飽和烴類衍生物包括：

乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二縮三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。

2.根據權利要求1所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中基材為固體材料，所述固體材料為電子部件或電器部件；且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業防水等級標準IPX1-IPX8所述的環境使用。

3.根據權利要求1所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中等離子體室的容積為50-1000L，等離子體室的溫度控制在30～60℃；通入惰性氣體或氮氣的流量為5～300sccm，所述惰性氣體為氬氣或氦氣中的一種，或氬氣和氦氣的混合物。

4.根據權利要求1所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中：

通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進行霧化、揮發，由低壓10-200毫托引入反應腔體，所述通入單體蒸汽的流量為10-1000μL/min。

5.根據權利要求1所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中通入單體蒸汽之前進行輝光放電對基材進行轟擊預處理。

6.根據權利要求1所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為2-500W，持續放電時間為600-7200秒，所述等離子體放電方式為射頻放電、微波放電、中頻放電或電火花放電。

7.根據權利要求6所述的一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：所述等離子體射頻放電過程中控制等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖或連續輸出，等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出時，脈寬為2μs-1ms、重復頻率為20Hz-10kHz。