[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體激光器芯片的測(cè)試系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710044814.9
• 申請(qǐng)日: 2017-01-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106597263A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡海;劉文斌;王泰山;李成鵬;方繼林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳清華大學(xué)研究院;深圳瑞波光電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44280
• 代理人: 何青瓦

1.一種半導(dǎo)體激光器芯片的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，包括：

測(cè)試柜，其包括裝載平臺(tái)，多個(gè)待測(cè)試的芯片組件放置在所述裝載平臺(tái)上；

測(cè)試電源，用以所述多個(gè)待測(cè)試的芯片組件提供測(cè)試電流；

冷卻子系統(tǒng)，用于向所述裝載平臺(tái)提供循環(huán)冷卻液體，以為所述芯片組件的測(cè)試提供穩(wěn)定可靠的溫度；

溫度監(jiān)控子系統(tǒng)，用于監(jiān)控所述裝載平臺(tái)和循環(huán)冷卻液體的溫度；

計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)，分別與所述測(cè)試電源、冷卻子系統(tǒng)以及溫度監(jiān)控子系統(tǒng)連接，用以控制所述冷卻子系統(tǒng)提供具有穩(wěn)定可靠的溫度的循環(huán)冷卻液，并根據(jù)所述溫度監(jiān)控子系統(tǒng)所監(jiān)控的結(jié)果，向所述測(cè)試電源發(fā)出相應(yīng)的控制指令。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)根據(jù)所述溫度監(jiān)控子系統(tǒng)所監(jiān)控的結(jié)果，向所述測(cè)試電源發(fā)出相應(yīng)的控制指令，包括：

當(dāng)所述溫度監(jiān)控子系統(tǒng)監(jiān)控到溫度異常時(shí)，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)向所述測(cè)試電源發(fā)出切斷指令，以使所述測(cè)試電源停止向所述芯片組件提供測(cè)試電流。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度監(jiān)控子系統(tǒng)包括設(shè)置在所述裝載平臺(tái)上的溫度探頭，用于探測(cè)所述裝載平臺(tái)的溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度探頭為三個(gè)，分別沿所述芯片組件分布的方向設(shè)置在所述裝載平臺(tái)上的不同位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻子系統(tǒng)包括：

冷卻液體供給機(jī)，用于提供和回收循環(huán)冷卻液體，并且與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接；

冷卻回路，其兩端分別連接所述冷卻液體供給機(jī)，所述裝載平臺(tái)設(shè)置在所述冷卻回路上；

主閥門(mén)，設(shè)置在所述冷卻液體供給機(jī)的出液口與所述裝載平臺(tái)之間的所述冷卻回路上，并與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接，以在所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)的控制下進(jìn)行開(kāi)啟和關(guān)閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

流量計(jì)，設(shè)置在所述冷卻液體供給機(jī)的入液口與所述裝載平臺(tái)之間的所述冷卻回路上，并與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接，以將測(cè)量的流量數(shù)據(jù)發(fā)送至所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

冷卻液品質(zhì)檢測(cè)儀，設(shè)置在所述冷卻液體供給機(jī)的入液口與所述裝載平臺(tái)之間的所述冷卻回路上，并與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接，以將測(cè)量的冷卻液品質(zhì)數(shù)據(jù)發(fā)送至所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻液品質(zhì)數(shù)據(jù)包括pH值和電導(dǎo)率。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

過(guò)濾器，設(shè)置在所述主閥門(mén)和所述冷卻液體供給機(jī)的出液口之間的所述冷卻回路上。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，溫度監(jiān)控子系統(tǒng)包括設(shè)置在所述主閥門(mén)與所述裝載平臺(tái)之間的所述冷卻回路上的溫度探頭，用于測(cè)量循環(huán)冷卻液體的溫度。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)試柜包括多個(gè)所述裝載平臺(tái)，所述冷卻子系統(tǒng)進(jìn)一步包括分流閥，所述分流閥設(shè)置在所述主閥門(mén)與所述多個(gè)裝載平臺(tái)之間，所述溫度探頭設(shè)置在所述分流閥內(nèi)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括：

空氣粒子計(jì)數(shù)器，設(shè)置在所述測(cè)試柜中，并與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接，用于監(jiān)控所述測(cè)試柜內(nèi)的空氣潔凈度，并將空氣潔凈度結(jié)果發(fā)送至所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)根據(jù)所述空氣潔凈度結(jié)果，向所述測(cè)試電源發(fā)出相應(yīng)的控制指令。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)根據(jù)所述空氣潔凈度結(jié)果，向所述測(cè)試電源發(fā)出相應(yīng)的控制指令，包括：

當(dāng)所述空氣潔凈度結(jié)果異常時(shí)，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)向所述測(cè)試電源發(fā)出切斷指令，以使所述測(cè)試電源停止向所述芯片組件提供測(cè)試電流。

14.根據(jù)權(quán)利要13所述的測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括：

報(bào)警子系統(tǒng)，與所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)連接，當(dāng)計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)向所述測(cè)試電源發(fā)出切斷指令時(shí)，所述計(jì)算機(jī)處理子系統(tǒng)控制所述報(bào)警子系統(tǒng)發(fā)出警報(bào)。