[發明專利]一種標準單元漏電流的測試電路及測試方法

有效

• 申請號: 201710037926.1
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN108318727B
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 郭響妮;古力;魚江華;張鳳娟;陳志強
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張振軍;吳敏

本發明提供一種標準單元漏電流的測試電路及測試方法，所述測試電路包括：多個驅動單元以及多個目標單元電路；所述多個驅動單元串聯于所述測試電路的輸入端和輸出端之間，每個所述驅動單元均用于掛載對應的目標單元電路；其中：所述驅動單元和所述目標單元電路均由所述標準單元組成。所述測試電路以及測試方法可以提升標準單元漏電流的測試電路的測試效率。

技術領域

本發明涉及集成電路性能測試領域，特別是涉及一種標準單元漏電流的測試電路及測試方法。

背景技術

在0.18um及以上工藝節點(如0.35um)的集成電路芯片設計的時候，功耗是在速度和面積之外考慮的次要因素。隨著集成電路技術的飛速發展，特別是邁入65nm/55nm工藝節點時，晶體管的數量和時鐘的頻率迅速增長，電路的功耗也越來越大，功耗已經成為約束芯片設計的一個主要因素，是衡量集成電路性能的重要指標，功耗問題越來越受到集成電路設計領域的關注。

集成電路的功耗分可為動態功耗和靜態功耗。動態功耗是指電路進行邏輯翻轉的時候所消耗的功耗。靜態功耗是指電路在不進行邏輯翻轉的時候所消耗的功耗，是由CMOS門的靜態功耗產生的。在應用于移動便攜式設備時，靜態功耗影響移動便攜式設備的待機時間，因此顯得尤為重要。

標準單元作為集成電路設計的基礎單元結構，其功耗的大小直接影響芯片的功耗。故在使用標準單元進行集成電路設計之前，需要對標準單元的動態功耗和靜態功耗進行測試來評估芯片的功耗。動態功耗的數量級較大，測試相對容易，而靜態功耗的測試則相對復雜。靜態功耗主要體現為集成電路中器件的漏電流，理想條件下，芯片的引腳和地之間是開路的，但是實際情況中，他們之間為高阻狀態，由于自由電子的存在，加上電壓后可能會有微小的電流流過，這種電流就是漏電流。漏電流測試時需要滿足以下條件：晶體管的數量要足夠多，使漏電流足夠大，以便使用現有測試儀器可以更為精準的測量。

現有的測試電路在對標準單元的漏電流進行測量時，測量過程較為復雜，效率較低。

發明內容

本發明解決的技術問題是提升標準單元漏電流的測試電路的測試效率。

為解決上述技術問題，本發明實施例提供一種標準單元漏電流的測試電路，包括：多個驅動單元以及多個目標單元電路；所述多個驅動單元串聯于所述測試電路的輸入端和輸出端之間，每個所述驅動單元均用于掛載對應的目標單元電路；其中：所述驅動單元和所述目標單元電路均由所述標準單元組成。

可選的，所述標準單元為反相器。

可選的，所述驅動單元為偶數個串聯的反相器。

可選的，所述目標單元電路為多個反相器，所述多個反相器的輸入端共同連接至所述驅動單元的輸入端，所述多個反相器的輸出端懸空。

可選的，所述驅動單元的總數量使得對所述測試電路進行測試時，所述測試電路輸出的總的電流值為μA級別。

本發明實施例還提供一種基于所述的標準單元漏電流的測試電路的測試方法，包括：所述測試電路的輸入端接入邏輯0時，測量所述測試電路的輸出端的總漏電流值I_all1；所述測試電路的輸入端接入邏輯1時，測量所述測試電路的輸出端的總漏電流值I_all2；根據I_all1、I_all2、每個所述目標單元電路中的所述標準單元的數量M、每個所述驅動單元中所述標準單元的數量N，以及所述驅動單元的數量P計算每個所述標準單元的漏電流I_X0以及I_X1；其中，M、N、P均為自然數，I_X0為所述標準單元輸入邏輯0時的漏電流，I_X1為所述標準單元輸入邏輯1時的漏電流。