[發明專利]微機械壓力傳感器有效
| 申請號： | 201710022540.3 | 申請日： | 2017-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN107032296B | 公開（公告）日： | 2023-01-06 |
| 發明（設計）人： | F·格拉巴邁爾;E·舍爾克斯;T·林德曼 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;G01L7/08;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于制造壓力傳感器(405)的方法，其中，所述方法包括以下步驟：
-提供具有凹部(110)的基底(105)；
-將微機械傳感器元件(115)在所述基底(105)上置于所述凹部(110)中；
-將分析電路(120)在所述基底(105)上置于所述凹部(110)旁邊；
-將所述分析電路(120)與所述傳感器元件(115)電連接；
-借助于澆鑄模(205)圍繞所述凹部(110)覆蓋所述基底(105)，使得所述凹部(110)封閉；
-澆鑄在所述基底(105)和所述澆鑄模(205)之間的分析電路(120)；并且
-移除所述澆鑄模(205)。
2.一種澆鑄模(205)，其用于借助根據權利要求1所述的方法制造壓力傳感器(405)，其中，所述澆鑄模(205)設置用于圍繞所述凹部(110)貼靠在所述基底(105)上并且在所述分析電路(120)的周圍和上方空出預給定區域(210)。
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