[發明專利]三軸角加速度計

有效

• 申請號: 201710009802.2
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN106950398B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 張欣;張江龍
• 申請（專利權）人: 美國亞德諾半導體公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 申發振

1.角加速度檢測設備，包括：

質量塊，具有外邊緣、內邊緣和中心，所述外邊緣界定出第一區域，所述內邊緣位于在所述第一區域內并且界定出小于第一區域的第二區域，中心位于所述第二區域內；

所述質量塊還包括多個梁，所述多個梁固定在所述質量塊的內邊緣上并且朝著所述質量塊的中心延伸。

2.根據權利要求1所述的設備，其中所述質量塊呈盤子形狀。

3.根據權利要求1所述的設備，還包括基板，其中所述質量塊通過比所述多個梁更接近所述質量塊中心的至少一個錨而連接在所述基板上。

4.根據權利要求3所述的設備，還包括與所述基板連接并與所述多個梁中的第一梁鄰接的電極，所述電極構造成產生檢測信號以響應梁的運動。

5.根據權利要求4所述的設備，其中所述電極為第一電極，所述檢測信號為第一檢測信號，所述設備還包括與所述基板連接的第二電極，所述第二電極與所述第一梁鄰接并與所述第一電極相反，并且所述第二電極構造成產生與第一檢測信號相反的第二檢測信號以響應所述第一梁的運動。

6.根據權利要求4所述的設備，其中所述電極為第一電極，所述檢測信號為第一檢測信號，所述運動為圍繞第一軸的第一運動，所述設備還包括位于所述基板上的第二電極，所述第二電極構造成產生第二檢測信號以響應所述質量塊圍繞與第一軸垂直的第二軸的第二運動。

7.根據權利要求6所述的設備，還包括位于所述基板上的第三電極，所述第三電極構造成產生第三檢測信號以響應所述質量塊圍繞與第一軸和第二軸垂直的第三軸的第三運動。

8.根據權利要求7所述的設備，其中所述質量塊內邊緣的最接近所述至少一個錨的點與所述至少一個錨相距第一徑向距離，所述第一徑向距離小于所述第二電極與所述至少一個錨之間的第二徑向距離，并且所述第一徑向距離小于所述第三電極與所述至少一個錨之間的第三徑向距離。

9.根據權利要求1所述的設備，固定在所述質量塊內邊緣上的多個梁朝著所述質量塊的中心徑向延伸。

10.根據權利要求1所述的設備，其中固定在所述質量塊內邊緣上的所述多個梁中的第一梁具有自由端。