[發明專利]一種離子注入設備有效
| 申請號： | 201710007968.0 | 申請日： | 2017-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN106887374B | 公開（公告）日： | 2018-08-17 |
| 發明（設計）人： | 張豪峰;陳建榮;任思雨;蘇君海;李建華 | 申請（專利權）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/147 | 分類號： | H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 章蘭芳 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子注入設備，設有用于產生離子的離子源和用于引出離子束的引出電極系統，所述引出電極系統的電極板上設有離子束引出口；其特征在于：引出電極系統的外壁設置有螺旋線圈，所述螺旋線圈持續通入直流電，形成沿離子束流方向的磁場，所述磁場的磁場強度滿足所述離子束的離子在洛倫茲力的作用下做圓周運動的直徑小于引出電極系統的電極板上引出口的直徑或寬度。
2.如權利要求1所述的一種離子注入設備，其特征在于：所述引出電極系統為四電極引出電極系統。
3.如權利要求2所述的一種離子注入設備，其特征在于：所述螺旋線圈在引出電極系統的外壁靠近離子源的一端延伸至另一端。
4.如權利要求3所述的一種離子注入設備，其特征在于：所述螺旋線圈在引出電極系統的外壁按順時針方向或逆時針方向繞置。
5.如權利要求4所述的一種離子注入設備，其特征在于：所述螺旋線圈正向或反向通入直流電。
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