[發明專利]一種電光調制器

有效

• 申請號: 201680081996.0
• 申請日: 2016-07-21
• 公開（公告）號: CN108780234B
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 李彥波;宋小鹿;董振;冀瑞強;付生猛;曾理
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司
• 主分類號: G02F1/015
• 分類號: G02F1/015
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 馮艷蓮

1.一種電光調制器，其特征在于，包括：輸入波導，與所述輸入波導連接的分束器，設置在所述分束器的每個分支上并用于調制信號的調制臂，還包括與所述分束器的每個分支連接并用于將信號合束的合束器，以及與所述合束器連接的輸出波導；其中，每個調制臂對應設置有雙層電極，所述雙層電極中的第一層電極為用于改變所述調制臂中的載流子濃度的高頻行波電極，第二層電極為具備電感功能的直流電極，且所述第二層電極中形成的電感中具有與所述高頻行波電極相連接的電感；其中，

所述電光調制器具有硅襯底，設置在所述硅襯底上的埋層二氧化硅，以及設置在所述埋層二氧化硅上的調制器有源區硅波導和二氧化硅隔離層；

其中，還包括設置在所述輸入波導一側并與每個調制臂對應的電容；所述第二層電極設置在所述二氧化硅隔離層背離所述埋層二氧化硅的一面，所述第一層電極埋設在所述二氧化硅隔離層中，且所述第一層電極及第二層電極電連接；所述電容的一個電極設置在所述二氧化硅隔離層背離所述埋層二氧化硅的一面，另一個電極埋設在所述二氧化硅隔離層中；

所述二氧化硅隔離層設置有過孔，所述第一層電極及所述第二層電極通過填充在所述過孔內的金屬連接。

2.如權利要求1所述的電光調制器，其特征在于，所述電光調制器具有調制器高頻信號輸入端，所述電容的一端與所述調制器高頻信號輸入端連接，所述電容的另一端與所述高頻行波電極連接，且所述電容與所述第二層電極中的電感分別與所述高頻行波電極連接并組成T型偏置器。

3.如權利要求1所述的電光調制器，其特征在于，還包括加載在所述合束器的每個分支上的熱電極。

4.如權利要求2或3所述的電光調制器，其特征在于，所述第二層電極包括與每個調制臂對應的調制器電感；每個調制器電感的一端連接有調制器直流信號輸入端，另一端與所述高頻行波電極連接。

5.如權利要求4所述的電光調制器，其特征在于，所述第二層電極還包括與每個調制臂對應的驅動器電感；每個驅動器電感的一端連接有驅動器直流信號輸入端，另一端與所述電光調制器的調制器高頻信號輸入端連接。