[發明專利]質量分析裝置及其離子檢測方法

有效

• 申請號: 201680076701.0
• 申請日: 2016-01-21
• 公開（公告）號: CN108475614B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 村上真一;照井康
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;G01N27/62
• 代理公司: 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰<國際申請>=PCT/JP

本發明的目的在于提供一種能夠高精度地檢測離子量的質量分析裝置及其離子檢測方法。為了實現上述目的，一種使施加于質量分離部(102)的電壓發生變化而選擇性地提取所希望的離子，來進行通道掃描測定的質量分析裝置(100)，該質量分析裝置(100)設有：離子檢測部(103)，其檢測由質量分離部(102)分離出的離子，并輸出電信號；離子量測定部(104)，其根據離子檢測部(103)的輸出測定離子量；以及離子量修正部(105)，其根據離子量測定部(104)的輸出修正離子檢測量，離子量修正部(105)在通道掃描的過程中，基于前1個通道的離子檢測量修正在當前通道中檢測出的離子檢測量。

技術領域

本發明涉及質量分析裝置及其離子檢測方法。

背景技術

作為本技術領域的背景技術，存在日本特開2011－102714號公報(專利文獻1)。在專利文獻1記載了“在選取MS頻譜的路程中設置了噪聲檢測路程，因此通過將離子檢測信號與檢測出的噪聲進行比較，能夠除去噪聲，另外，能夠除去與在測定過程中變化的樣本及運載氣體的變動對應的中性粒子噪聲”。此外，還記載了“對在頻譜采集期間和噪聲采集期間檢測出的信號與噪聲進行比較運算，能夠除去噪聲成分。”。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011－102714號公報

發明內容

發明要解決的課題

作為質量分析裝置使用了四極質量過濾器的四極質量分析儀，由于小型且比較廉價，所以是最被廣泛利用的質量分析裝置之一。四極質量分析儀由4根圓柱狀電極構成。圓柱狀電極在橫截面中將圓的中心置于正方形的頂點來進行組合。若對被固定的圓柱狀電極的鄰接的電極分別重疊施加正負的直流電壓與交流電壓，則具有電荷的離子在通過圓柱狀電極之中時邊振動邊通過，根據電壓和頻率，僅特定的離子進行穩定的振動并在電極內通過。另一方面，除此以外的離子在通過電極內的過程中振動增大，與電極碰撞，而無法通過電極。將該直流電壓與交流電壓的比保持為恒定，并且使交流電壓變化，由此僅具有特定的質荷比(m/z)的離子通過四極質量過濾器，能夠收集針對預定的質荷比的離子量。

在質量分析裝置的離子的檢測方法中，存在使用由多級的打拿極(dynode)構成的二次電子倍增管直接檢測通過了四極質量過濾器的離子的方式、使用了能夠以適當的靈敏度檢測質量較大的離子的閃爍體的檢測方式。在使用了閃爍體的檢測方式中，通過了四極質量過濾器的離子首先與轉換打拿極(CD)碰撞。接下來，從CD的表面被釋放出的電子與閃爍體碰撞，而轉換成光，由光電倍增管檢測該光。前者的直接檢測方式具有結構簡單的特征，后者的閃爍體方式具有高靈敏度、長壽命這樣的優點的特征。

專利文獻1所記載的現有技術雖敘述了除去與在測定過程中變化的樣本及運載氣體的變動對應的中性粒子噪聲，但未考慮離子檢測器的特性引起的噪聲成分。

特別是，在通道掃描測定中，例如，在從離子檢測量較多的通道1向離子檢測量較少的通道2切換的情況下，低濃度通道的離子量檢測精度因來自高濃度通道的串擾而降低。在閃爍體方式中，通道1的入射電子所帶來的閃爍體的余暉對通道2的測定區間產生影響，在通道2的離子檢測量疊加通道1的余暉成分，從而通道2的離子檢測精度降低。另外，在切斷朝向閃爍體的入射電子后，直至閃爍體的發光衰減而停止為止需要數ms～數十ms。因此，在掃描周期中適當地測定噪聲的現有技術的情況下，存在難以檢測包含衰減過程的噪聲量的課題。另外，對于直接檢測方式的情況而言，若使測定間隔變得更短，則也存在相同的問題。

本發明的目的在于提供一種除去來自其他通道的串擾而導致的離子的誤檢測，由此能夠提高離子量的檢測精度的質量分析裝置及其離子檢測方法。

用于解決課題的手段