[發明專利]使用高萊探測器的氣體檢測器

有效

• 申請號: 201680071989.2
• 申請日: 2016-10-06
• 公開（公告）號: CN108369139B
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: W.楊;T.M.馬塔;M.威利特;R.R.沃茨
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01J5/42
• 分類號: G01J5/42;G01N21/37;G01N21/17
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張健;蔣駿

1.一種使用高萊探測器的氣體檢測器設備，包括：

麥克風（102），具有帶有用于接收聲音的聲音收集孔（108）的前表面（104）；

基板（110）；

氣腔（112），形成在基板（110）中，使得氣腔（112）與聲音收集孔（108）氣體連通并且所述前表面（104）形成氣腔（112）的側表面；

其中氣腔包括填充氣體，該填充氣體包括氫氣、氬氣、氮氣、氪氣、氙氣、碳氫化合物、碳氟化合物中的一個或多個；

其中氣腔（112）被密封，使得一旦氣腔（112）被密封，則環境氣體不能進入氣腔（112）；和

窗口（114），鄰接基板（110）以形成氣腔（112）的側表面。

2.根據權利要求1所述的設備，還包括多個高萊探測器。

3.根據權利要求2所述的設備，其中多個高萊探測器被配置為同時地感測多種氣體。

4.根據權利要求2所述的設備，還包括至少一個光源（224）。

5.根據權利要求4所述的設備，其中至少一個光源包括與多個高萊探測器對應的多個光源，并且其中多個光源中的每個光源被配置為朝向多個高萊探測器中的對應的高萊探測器引導光。

6.根據權利要求1所述的設備，其中麥克風（102）與周圍環境隔離。

7.一種檢測氣體的方法，所述方法包括：

朝向形成在基板（110）中的氣腔（112）引導光源（224）；

使來自光源（224）的輻射穿過鄰接基板（110）的窗口（114），其中窗口（114）形成氣腔（112）的一側；

利用設置在氣腔（112）中的填充氣體吸收來自光源（224）的輻射，其中該填充氣體包括氫氣、氬氣、氮氣、氪氣、氙氣、碳氫化合物、碳氟化合物中的一個或多個；

生成對所吸收的輻射的聲學響應；

利用具有帶有與氣腔（112）流體連通的聲音收集孔（108）的前表面（104）的麥克風（102）檢測聲學響應，其中前表面（104）形成氣腔（112）的一側，并且其中窗口（114）鄰接基板（110）的第二表面以密封氣腔（112）。

8.根據權利要求7所述的方法，還包括涂覆窗口（114）以提供使得窗口（114）對于不在特定波長范圍內的所有光是不透明的光學特性。

9.根據權利要求7所述的方法，其中光源（224）生成紅外光并且窗口（114）對于所生成的紅外光是透明的，從而允許光穿過窗口（114）。